เตาหลอมการเจริญเติบโตของคริสตัลเป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์ มันคล้ายกับเตาหลอมการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนเกรดผลึกแบบดั้งเดิม โครงสร้างเตาไม่ซับซ้อนมาก ส่วนใหญ่ประกอบด้วยร่างกายเตา, ระบบทำความร้อน, กลไกการส่งสัญญาณขดลวด, การได้มาซึ่งสูญญากาศและระบบการวัด, ระบบเส้นทางก๊าซ, ระบ......
อ่านเพิ่มเติม