หัวฝักบัว SiC (ซิลิกอนคาร์ไบด์) เป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในกระบวนการทางอุตสาหกรรมต่างๆ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบมาเพื่อกระจายและส่งก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ำเสมอและแม่นยำในระหว่างกระบวนการสะสมไอระเหยของสารเคมี (CVD) และการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว
หัวฝักบัวมีรูปร่างเหมือนจานหรือจานที่มีรูหรือหัวฉีดกระจายเท่าๆ กันหลายรูบนพื้นผิว รูเหล่านี้ทำหน้าที่เป็นทางออกสำหรับก๊าซในกระบวนการ ทำให้สามารถฉีดเข้าไปในห้องกระบวนการหรือห้องปฏิกิริยาได้ ขนาด รูปร่าง และการกระจายของรูอาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับการใช้งานและข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ
ข้อดีหลักประการหนึ่งของการใช้หัวฝักบัว SiC คือการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม คุณสมบัตินี้ช่วยให้การถ่ายเทความร้อนมีประสิทธิภาพและการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวของหัวฝักบัว ป้องกันจุดร้อนและทำให้มั่นใจถึงสภาวะกระบวนการที่สม่ำเสมอ การนำความร้อนที่เพิ่มขึ้นยังช่วยให้หัวฝักบัวเย็นลงอย่างรวดเร็วหลังกระบวนการ ลดเวลาหยุดทำงานและเพิ่มผลผลิตโดยรวม
หัวฝักบัว SiC มีความทนทานสูงและทนต่อการสึกหรอ แม้อยู่ภายใต้การสัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและอุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน อายุการใช้งานที่ยาวนานนี้แปลเป็นช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวนานขึ้น และลดเวลาหยุดทำงานของอุปกรณ์ ส่งผลให้ประหยัดต้นทุนและปรับปรุงความน่าเชื่อถือของกระบวนการ
นอกจากความทนทานแล้ว หัวฝักบัว SiC ยังให้ความสามารถในการจ่ายก๊าซที่ดีเยี่ยม รูปแบบและการกำหนดค่าของรูที่ออกแบบอย่างแม่นยำช่วยให้มั่นใจได้ถึงการไหลของก๊าซและการกระจายที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของวัสดุ ส่งเสริมการทับถมของฟิล์มที่สม่ำเสมอและเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ การกระจายก๊าซที่สม่ำเสมอยังช่วยลดความผันแปรของความหนาของฟิล์ม องค์ประกอบ และพารามิเตอร์ที่สำคัญอื่นๆ ให้น้อยที่สุด ซึ่งมีส่วนช่วยในการควบคุมกระบวนการและผลผลิตที่ดีขึ้น
Semicorex นำเสนอหัวฝักบัวเซมิคอนดักเตอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาความต้านทานต่ำ เรามีความสามารถในการปรับแต่งวิศวกรรมและจัดหาวัสดุเซรามิกขั้นสูงโดยใช้ความสามารถเฉพาะตัวที่หลากหลาย
ท่อ Semicorex Diffusion Furnace เป็นส่วนประกอบสำคัญภายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่ออำนวยความสะดวกในปฏิกิริยาที่แม่นยำและควบคุมได้ซึ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ท่อเตาแพร่กระจายมีบทบาทสำคัญในการรับประกันความสมบูรณ์และคุณภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ผลิตขึ้น เนื่องจากเป็นภาชนะหลักภายในโซนปฏิกิริยาของเตาเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวฝักบัว Semicorex CVD-SiC มีความทนทาน การจัดการความร้อนที่ดีเยี่ยม และทนทานต่อการเสื่อมสภาพของสารเคมี ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการ CVD ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามในเครื่องมือพลาสมาสำหรับการกัดและการสะสมไอสารเคมี (CVD) ของวัสดุบนแผ่นเวเฟอร์ ก๊าซในกระบวนการจะถูกป้อนเข้าสู่ห้องกระบวนการผ่านหัวฝักบัวกราไฟต์เคลือบ CVD SiC Semicorex มุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม