จีน ผู้ให้บริการ RTP ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

ตัวพา Semicorex RTP คือซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เคลือบโดยใช้กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งมีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง ที่แกนกลางของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์รับความรู้สึกของอีพิแทกซีจะถูกสัมผัสกับสภาพแวดล้อมการสะสมเป็นอันดับแรก จึงมีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ตัวพาที่เคลือบ SiC ยังมีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

● กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง

● ทนความร้อนและทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม

● ความสม่ำเสมอทางความร้อนสูง

● ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม