Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
แผ่นเซมิคอร์ซิลิกอนไนไตรด์เป็นพื้นผิวเซรามิกที่มีความแข็งแรงสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือเชิงกลสำหรับโมดูลพลังงานขั้นสูง การเลือก Semicorex หมายถึงการได้รับประโยชน์จากการผลิตที่แม่นยำการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดและความเชี่ยวชาญด้านวิศวกรรมวัสดุที่ให้ความมั่นใจว่าประสิทธิภาพที่สอดคล้องกันแม้ในแอพพลิเคชั่นที่ต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเรือแนวตั้ง Semicorex sic เป็นผู้ให้บริการเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการเตาเผาในแนวตั้งให้ความมั่นคงที่ยอดเยี่ยมความสะอาดและความทนทาน เลือก Semicorex สำหรับคุณภาพที่ไม่ยอมแพ้การผลิตที่แม่นยำและความน่าเชื่อถือที่พิสูจน์แล้วในการประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SIC ท่อเป็นส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ส่งมอบความร้อนที่ยอดเยี่ยมเครื่องกลและความคงตัวทางเคมีในสภาพแวดล้อมกระบวนการเรียกร้อง เลือก Semicorex สำหรับท่อ SIC ที่มีความแม่นยำซึ่งสร้างความมั่นใจในคุณภาพที่สม่ำเสมออายุการใช้งานที่ยืดเยื้อและประสิทธิภาพของเตาเผาสูงสุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex FURNACE SIC BOOKS SICANTAL SIC เป็นผู้ให้บริการซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อการถือเวเฟอร์ที่ปลอดภัยในระหว่างการแปรรูปเตาเผาในแนวนอนอุณหภูมิสูง การเลือก Semicorex หมายถึงการได้รับประโยชน์จากวิศวกรรมที่แม่นยำความทนทานที่ยอดเยี่ยมและประสิทธิภาพความร้อนที่เหนือกว่าสำหรับการผลิตที่ให้ผลตอบแทนสูง* ที่สอดคล้องกัน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามกระจกสแกน Semicorex Silicon Carbide ให้ความแม่นยำความเร็วและเสถียรภาพที่ยอดเยี่ยมสำหรับแอปพลิเคชันการสแกนแบบออปติคัลที่ต้องการมากที่สุด เลือก Semicorex สำหรับความเชี่ยวชาญที่ไม่มีใครเทียบใน SIC Engineering นำเสนอรูปทรงเรขาคณิตที่ปรับแต่งการเคลือบระดับพรีเมี่ยมและความน่าเชื่อถือที่พิสูจน์แล้วในระบบแสงที่มีประสิทธิภาพสูง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Sic Mirrors เป็นส่วนประกอบออปติคัลซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อความแม่นยำสูงในแอพพลิเคชั่นเช่นระบบสแกนออปติก, การพิมพ์หินและกล้องโทรทรรศน์ที่ใช้พื้นที่ เลือก Semicorex สำหรับความเชี่ยวชาญด้านการผลิตขั้นสูงของเราการออกแบบที่ปรับแต่งได้และการตกแต่งพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมซึ่งทำให้มั่นใจได้ถึงความมั่นคงการสะท้อนแสงและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่ต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม