ซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก (SiC) เป็นวัสดุเซรามิกขั้นสูงที่มีซิลิกอนและคาร์บอน เม็ดของซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถเชื่อมติดกันได้โดยการเผาผนึกเพื่อสร้างเซรามิกที่แข็งมาก Semicorex จัดหาเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองตามที่คุณต้องการ
แอพพลิเคชั่น
ด้วยเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ คุณสมบัติของวัสดุจะคงที่จนถึงอุณหภูมิที่สูงกว่า 1,400°C โมดูลัส Youngâs ที่สูง > 400 GPa ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของมิติที่ดีเยี่ยม
การใช้งานทั่วไปสำหรับชิ้นส่วนซิลิกอนคาร์ไบด์คือเทคโนโลยีการซีลแบบไดนามิกโดยใช้ตลับลูกปืนแรงเสียดทานและซีลเชิงกล เช่น ในปั๊มและระบบขับเคลื่อน
ด้วยคุณสมบัติขั้นสูง ซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เรือเวเฟอร์
Semicorex Wafer Boat ทำจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์เผา ซึ่งทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีและทนทานต่ออุณหภูมิสูงและช็อกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม เซรามิกขั้นสูงให้ความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความทนทานต่อพลาสมา ในขณะที่ลดอนุภาคและสารปนเปื้อนสำหรับตัวพาเวเฟอร์ความจุสูง
ปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์เผา
เมื่อเปรียบเทียบกับกระบวนการซินเทอร์อื่น ๆ การเปลี่ยนแปลงขนาดของปฏิกิริยาซินเทอร์ระหว่างกระบวนการเพิ่มความหนาแน่นนั้นมีขนาดเล็ก และสามารถผลิตผลิตภัณฑ์ที่มีขนาดที่แม่นยำได้ อย่างไรก็ตาม การมี SiC จำนวนมากในตัวซินเตอร์ทำให้ประสิทธิภาพที่อุณหภูมิสูงของเซรามิก SiC ซินเทอร์ที่ทำปฏิกิริยาแย่ลง
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้แรงดัน
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน (SSiC) เป็นเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่เบาเป็นพิเศษและในขณะเดียวกันก็แข็ง SSiC นั้นมีความแข็งแรงสูง ซึ่งเกือบจะคงที่แม้ในอุณหภูมิที่สูงมาก
Recrystal ซิลิคอนคาร์ไบด์
ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ผ่านการตกผลึกใหม่ (RSiC) เป็นวัสดุรุ่นต่อไปที่เกิดจากการผสมผงหยาบซิลิกอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูงกับผงละเอียดซิลิกอนคาร์ไบด์กิจกรรมสูง และหลังจากการอัดฉีด การเผาผนึกสุญญากาศที่อุณหภูมิ 2450°C เพื่อทำให้ตกผลึกใหม่
|
|
ปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์เผา |
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้แรงดัน |
ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่ |
คุณสมบัติทั่วไป |
หน่วย |
ค่า |
|
|
ความหนาแน่นรวม |
กรัม/ซม.3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
ความแข็งแรงดัด |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°ซ) |
กำลังอัด |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
ความแข็ง |
น๊อป |
2700 |
2800 |
/ |
ทำลายความดื้อรั้น |
MPa ม.1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
การนำความร้อน |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน |
10-6.1/°ซ |
5 |
4 |
4.7 |
ความร้อนจำเพาะ |
จูล/กรัม 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
โมดูลัสยืดหยุ่น |
เกรดเฉลี่ย |
360 |
410 |
240 |
ความแข็งแรงดัด |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°ซ) |
Semicorex Wafer Boat Carrier ถือเป็นจุดสุดยอดของนวัตกรรมในขอบเขตของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์และเสริมความแข็งแรงด้วยการเคลือบที่ล้ำสมัยของการเคลือบด้วยไอเคมี (CVD) ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ตัวพานี้เป็นตัวอย่างที่ดีของวิศวกรรมที่มีความแม่นยำและวิทยาศาสตร์วัสดุขั้นสูง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Baffle Wafer Boat เป็นอุปกรณ์ขั้นสูงที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนสำคัญของการผลิต Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแขนหุ่นยนต์ Semicorex Zirconia ZrO2 ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เพื่อการถ่ายโอนและการจัดการเวเฟอร์ที่ราบรื่น แขนเซรามิกนี้สร้างขึ้นมาเพื่อทนทานต่อความต้องการอันเข้มงวดของสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง กัดกร่อน และมีฤทธิ์กัดกร่อน โดยมีความทนทานและความน่าเชื่อถือที่ไม่มีใครเทียบได้ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวฉีดเซรามิก Semicorex Zirconia สร้างขึ้นด้วยความใส่ใจในรายละเอียดอย่างพิถีพิถัน หัวฉีดนี้ถือเป็นตัวอย่างของความเป็นเลิศในการควบคุมอัตราการไหลของทั้งก๊าซและของเหลวด้วยความสม่ำเสมอและความแม่นยำที่ไม่มีใครเทียบได้ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ Semicorex นำเสนอโซลูชันที่ล้ำสมัยสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อยึดเวเฟอร์ให้เข้าที่อย่างแน่นหนาในระหว่างขั้นตอนการผลิตต่างๆ อุปกรณ์ที่เป็นนวัตกรรมใหม่นี้ทำหน้าที่เป็นหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC) โดยใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติพิเศษของเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ เพื่อให้มั่นใจถึงการกักเก็บแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวจับยึดเวเฟอร์ Semicorex Aluminium Nitride (AlN) ถือเป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในขอบเขตของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่เป็นแพลตฟอร์มหลักสำหรับการยึดเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนอย่างแน่นหนาตลอดขั้นตอนการผลิตต่างๆ ผลิตจากวัสดุอะลูมิเนียมไนไตรด์คุณภาพสูง ซึ่งมีชื่อเสียงในด้านการนำความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และคุณสมบัติฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม ตัวจับยึดเวเฟอร์นี้รับประกันสภาวะที่เหมาะสมที่สุดสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำและมีประสิทธิภาพ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม