ในระหว่างการประมวลผล เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะต้องได้รับความร้อนในเตาเผาแบบพิเศษ เครื่องปฏิกรณ์ประกอบด้วยท่อทรงกระบอกที่ยาว ซึ่งวางเวเฟอร์ไว้บนเรือเวเฟอร์ตามที่กำหนดไว้ล่วงหน้าและมีระยะห่างเท่ากัน เพื่อให้สามารถอยู่รอดในสภาวะการประมวลผลภายในห้องเพาะเลี้ยง และเพื่อลดของเสียไปยังเวเฟอร์จากอุปกรณ์ในการประมวลผล เรือเวเฟอร์ และอีกหลายชนิด อุปกรณ์อื่นๆ ที่ใช้ในการประมวลผลเวเฟอร์นั้นประดิษฐ์จากวัสดุ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
เรือที่บรรทุกแผ่นเวเฟอร์จำนวนหนึ่งเพื่อนำไปแปรรูปนั้นจะถูกวางตำแหน่งไว้บนไม้พายที่มีคานยื่นยาว ซึ่งสามารถสอดเข้าไปในและนำออกจากเตาหลอมแบบท่อและเครื่องปฏิกรณ์ได้ ไม้พายรวมถึงส่วนบรรทุกที่แบนซึ่งเรือหนึ่งลำหรือมากกว่านั้นอาจวางตำแหน่งได้ และด้ามยาวซึ่งวางอยู่ที่ปลายด้านหนึ่งของส่วนบรรทุกที่แบนซึ่งใช้ในการจัดการไม้พายได้
ขอแนะนำให้ใช้ไม้พายยื่นออกไปโดยใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำด้วยชั้นบางๆ ของ CVD SiC ซึ่งมีความบริสุทธิ์สูงและเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับส่วนประกอบในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
Semicorex สามารถให้บริการปรับแต่งตามแบบและสภาพแวดล้อมการทำงาน
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle ผลิตจากเซรามิก SiC เผาที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งเป็นชิ้นส่วนโครงสร้างในเตาแนวนอนในเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex เป็นบริษัทที่มีประสบการณ์ในการจัดหาส่วนประกอบ SiC ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Ceramic Paddle เป็นส่วนประกอบคานยื่นที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงแบบเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย การเลือก Semicorex หมายถึงการเข้าถึงโซลูชันเซรามิกขั้นสูงที่ให้ความเสถียร ความสะอาด และความทนทานเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานในการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Paddles เป็นแขนยื่นซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับการขนส่งแผ่นเวเฟอร์ในเตาออกซิเดชันและการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูงกว่า 1000°C การเลือก Semicorex หมายถึงการรับประกันคุณภาพวัสดุที่ยอดเยี่ยม วิศวกรรมที่มีความแม่นยำ และความน่าเชื่อถือในระยะยาวที่ได้รับความไว้วางใจจากโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม