ในระหว่างการประมวลผล เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะต้องได้รับความร้อนในเตาเผาพิเศษ เครื่องปฏิกรณ์ประกอบด้วยท่อทรงกระบอกยาว ซึ่งวางแผ่นเวเฟอร์ไว้บนเรือแผ่นเวเฟอร์ตามที่กำหนดไว้ล่วงหน้า ระยะห่างเท่ากัน เพื่อให้อยู่รอดในสภาพการประมวลผลภายในห้อง และเพื่อลดของเสียจากอุปกรณ์แปรรูป เรือเวเฟอร์ และอีกมากมาย อุปกรณ์อื่นๆ ที่ใช้ในการแปรรูปแผ่นเวเฟอร์ถูกประดิษฐ์ขึ้นจากวัสดุ เช่น ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC)
เรือที่บรรทุกเวเฟอร์จำนวนหนึ่งที่จะผ่านกระบวนการ จะถูกวางบนไม้พายแบบยาว ซึ่งอาจเสียบเข้าและดึงออกจากเตาหลอมและเครื่องปฏิกรณ์แบบท่อ ไม้พายประกอบด้วยส่วนบรรทุกแบบแบนซึ่งใช้วางเรือตั้งแต่หนึ่งลำขึ้นไป และด้ามยาวซึ่งวางอยู่ที่ปลายด้านหนึ่งของส่วนบรรทุกแบบแบน ซึ่งสามารถถือพายได้
ขอแนะนำให้ใช้ไม้พายค้ำยันเพื่อใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านการตกผลึกใหม่ด้วยชั้นบางของ CVD SiC ซึ่งมีความบริสุทธิ์สูงและเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับส่วนประกอบในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์
Semicorex สามารถให้บริการปรับแต่งตามแบบและสภาพแวดล้อมการทำงาน
ไม้พายยื่นแบบ Semicorex SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาเผาแบบแพร่หรือ LPCVD (การสะสมไอสารเคมีความดันต่ำ) ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่กระจายและ RTP (การประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว) SiC Cantilever Paddle ใช้เพื่อบรรทุกเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างแน่นหนาภายในท่อกระบวนการในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูงต่างๆ เช่น การแพร่กระจายและ RTP มีวัตถุประสงค์ในการรองรับและขนส่งเวเฟอร์ภายในท่อกระบวนการของเตาเผาเหล่านี้ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามไม้พายแบบเท้าแขนซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในเตาเผาสำหรับการใช้งานด้านกระบวนการทางความร้อนต่างๆ Semicorex มุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแรงยกแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ ไม้พาย SiC เซรามิกคาร์ไบด์เหมาะสำหรับระบบการโหลดและจัดการอัตโนมัติของหุ่นยนต์ เนื่องจากมีประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคง ไม่เสียรูปในอุณหภูมิสูง และแรงโหลดแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ Semicorex มุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม