ตัวพาการแกะสลัก PSS (Patterned Sapphire Substrate) ใช้ในการผลิตอุปกรณ์ LED ตัวพาการกัด PSS ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับการเจริญเติบโตของฟิล์มบางของแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) ซึ่งก่อตัวเป็นโครงสร้าง LED จากนั้นจึงสัมผัสกับกระบวนการกัด ดังนั้นจึงต้องการวัสดุที่ทนความร้อนและการกัดกร่อนสูง ตัวพาการกัด PSS ที่เคลือบด้วย Semicorex SiC ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานอุปกรณ์ epitaxy ที่มีความต้องการสูงเหล่านี้ ตัวพาเคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์โดยใช้วิธี CVD ซึ่งมีค่าการนำความร้อนสูง และมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม