วงแหวนโฟกัสหรือวงแหวนขอบได้รับการออกแบบมาเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอในการกัดรอบขอบเวเฟอร์หรือปริมณฑล
วงแหวนโฟกัส Semicorex เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์โดยใช้การสะสมไอสารเคมี (CVD) ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อนสม่ำเสมอ เพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และความทนทานต่อสารเคมีที่ทนทาน ซึ่งถูกสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในกระบวนการกัดด้วยพลาสมาหรือกัดแบบแห้ง .