วงแหวนโฟกัสหรือวงแหวนขอบได้รับการออกแบบมาเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของรอยกัดรอบขอบเวเฟอร์หรือเส้นรอบวง
วงแหวนโฟกัส Semicorex เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์โดยใช้การสะสมไอสารเคมี (CVD) ให้การทนความร้อนที่เหนือกว่า แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนสำหรับความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และทนทานต่อสารเคมี ซึ่งสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในการกัดพลาสมาหรือกระบวนการกัดแบบแห้ง .
วงแหวนโฟกัสที่ทนทานของ Semicorex สำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ได้รับการออกแบบมาให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงของห้องกัดพลาสมาที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ วงแหวนโฟกัสของเราทำจากกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเคลือบด้วยซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่หนาแน่นและทนทานต่อการสึกหรอ การเคลือบ SiC มีคุณสมบัติการกัดกร่อนและทนความร้อนสูง รวมทั้งการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เราใช้ SiC ในชั้นบาง ๆ ลงบนกราไฟต์โดยใช้กระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) เพื่อปรับปรุงอายุการใช้งานของวงแหวนโฟกัสของเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนโฟกัสสำหรับการประมวลผลพลาสมา Semicorex ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อตอบสนองความต้องการสูงของการประมวลผลการกัดพลาสมาในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงของเราสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง และเหมาะสำหรับใช้ในการใช้งานต่างๆ รวมถึงชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์อีพิทาซี
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนโฟกัส SiC ขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงของ Semicorex ถูกสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในห้องกัดพลาสมา (หรือการกัดแบบแห้ง) เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์ epitaxy ผลิตภัณฑ์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม