กราไฟท์ที่เคลือบ TaC สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์
แทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เป็นสารประกอบที่ประกอบด้วยแทนทาลัมและคาร์บอน มีค่าการนำไฟฟ้าของโลหะและมีจุดหลอมเหลวสูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็งแรง ความแข็ง ความร้อนและความต้านทานการสึกหรอ จุดหลอมเหลวของแทนทาลัมคาร์ไบด์จะมีจุดสูงสุดที่ประมาณ 3880°C ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ และมีจุดหลอมเหลวที่สูงที่สุดจุดหนึ่งในบรรดาสารประกอบไบนารี ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจเมื่อความต้องการอุณหภูมิสูงเกินขีดความสามารถที่ใช้ในกระบวนการ epitaxx ของเซมิคอนดักเตอร์ผสม เช่น MOCVD และ LPE
ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex TaC
โครงการ |
พารามิเตอร์ |
ความหนาแน่น |
14.3 (กรัม/ซม.) |
การแผ่รังสี |
0.3 |
ซีทีอี (×10-6/เค) |
6.3 |
ความแข็ง (ฮ่องกง) |
2000 |
ความต้านทาน (โอห์ม-ซม.) |
1×10-5 |
เสถียรภาพทางความร้อน |
<2500 ℃ |
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์ |
-10~-20um (ค่าอ้างอิง) |
ความหนาของการเคลือบ |
≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
|
|
ข้างต้นเป็นค่าทั่วไป |
|
ชิ้นส่วน Semicorex Tantalum Carbide เป็นส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ TaC ซึ่งได้รับการออกแบบมาเพื่อการใช้งานที่มีประสิทธิภาพสูงในการใช้งานการเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) โดยให้ความทนทานต่ออุณหภูมิและสารเคมีที่ดีเยี่ยม เลือก Semicorex สำหรับส่วนประกอบคุณภาพสูงที่เชื่อถือได้ ซึ่งช่วยเพิ่มคุณภาพคริสตัลและประสิทธิภาพการผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนคาร์ไบด์แทนทาลัม Semicorex เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ที่ Semicorex เป็นที่รู้จักในด้านความแข็งเป็นพิเศษ จุดหลอมเหลวสูง และความเฉื่อยทางเคมี เราทุ่มเทเพื่อนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามมาตรฐานคุณภาพและประสิทธิภาพสูงสุด เพื่อให้มั่นใจว่าลูกค้าของเรายังคงอยู่ในแถวหน้าของนวัตกรรมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor เป็นถาดกราไฟท์ที่เคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ ซึ่งใช้ในการขยายส่วนเยื่อบุผิวของซิลิคอนคาร์ไบด์ เพื่อเพิ่มคุณภาพและประสิทธิภาพของเวเฟอร์ เลือก Semicorex สำหรับเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูงและโซลูชันที่ทนทาน ซึ่งรับประกันผลลัพธ์ของ SiC epitaxy ที่เหนือกว่าและอายุการใช้งานของตัวรับความรู้สึกที่ขยายออกไป*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนนำการเคลือบ TaC คือวงแหวนกราไฟท์ที่เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ออกแบบมาเพื่อใช้ในเตาเร่งการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์เพื่อเพิ่มคุณภาพของคริสตัล เลือก Semicorex สำหรับเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูง ซึ่งรับประกันความทนทานที่เหนือกว่า ความเสถียรทางความร้อน และประสิทธิภาพการเติบโตของคริสตัลที่เหมาะสมที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนนำแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex เป็นวงแหวนกราไฟต์ที่เคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ ใช้ในเตาเร่งการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์เพื่อรองรับผลึกเมล็ดพืช การปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม และเพิ่มเสถียรภาพในการเติบโต เลือก Semicorex สำหรับวัสดุและการออกแบบขั้นสูง ซึ่งปรับปรุงประสิทธิภาพและคุณภาพของการเติบโตของคริสตัลอย่างมีนัยสำคัญ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวน Semicorex แทนทาลัมคาร์ไบด์เป็นวงแหวนกราไฟท์ที่เคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ ใช้เป็นวงแหวนนำทางในเตาเร่งการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการควบคุมอุณหภูมิและการไหลของก๊าซที่แม่นยำ เลือก Semicorex สำหรับเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูงและวัสดุคุณภาพสูง มอบส่วนประกอบที่ทนทานและเชื่อถือได้ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการเติบโตของคริสตัลและอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม