กราไฟต์เคลือบ TaC สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่ละเอียดโดยกระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์
แทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เป็นสารประกอบที่ประกอบด้วยแทนทาลัมและคาร์บอน มีการนำไฟฟ้าแบบโลหะและมีจุดหลอมเหลวสูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อในด้านความแข็งแรง ความแข็ง ความร้อนและความทนทานต่อการสึกหรอ จุดหลอมเหลวของแทนทาลัมคาร์ไบด์สูงสุดที่ประมาณ 3880°C ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ และมีจุดหลอมเหลวสูงที่สุดจุดหนึ่งในบรรดาสารประกอบคู่ สิ่งนี้ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจเมื่อความต้องการอุณหภูมิที่สูงขึ้นเกินความสามารถด้านประสิทธิภาพที่ใช้ในกระบวนการ epitaxial ของสารกึ่งตัวนำผสม เช่น MOCVD และ LPE
ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex TaC
โครงการ |
พารามิเตอร์ |
ความหนาแน่น |
14.3 (กรัม/ซม.³) |
การแผ่รังสี |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
ความแข็ง (ฮ่องกง) |
2000 |
ความต้านทาน (โอห์ม-ซม.) |
1×10-5 |
เสถียรภาพทางความร้อน |
<2500â |
การเปลี่ยนแปลงมิติกราไฟท์ |
-10~-20um (ค่าอ้างอิง) |
ความหนาของการเคลือบ |
⥠20um ค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
|
|
ข้างต้นเป็นค่าทั่วไป |
|
Semicorex TaC Coating Chuck หัวจับสุญญากาศล้ำสมัยที่มาพร้อมกับการเคลือบ TaC ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามคุณสามารถมั่นใจได้ในการซื้อแผ่นเคลือบ Epitaxial ของ TaC จากโรงงานของเรา แผ่นเคลือบ Semicorex TaC (แทนทาลัมคาร์ไบด์) มีความต้านทานความร้อนเป็นพิเศษ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานภายใต้อุณหภูมิสูง ความสามารถที่โดดเด่นในการทนต่อความร้อนทำให้มั่นใจได้ถึงความทนทานและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นเคลือบ Semicorex TaC เป็นจานพิเศษที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการปิดผิว SiC ซึ่งสร้างขึ้นด้วยความแม่นยำจากวัสดุกราไฟท์คุณภาพสูง พื้นผิวเคลือบอย่างพิถีพิถันด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ซึ่งเป็นสารประกอบที่ขึ้นชื่อเรื่องความบริสุทธิ์และความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex TaC Coating Jig ถือเป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์ และเสริมความแข็งแรงด้วยชั้นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่ยืดหยุ่นได้ องค์ประกอบอุปกรณ์ที่สำคัญนี้ผสมผสานระหว่างวัสดุศาสตร์ที่ล้ำสมัยและวิศวกรรมที่มีความแม่นยำ ซึ่งได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับความต้องการในการปฏิบัติงานที่เข้มงวดและมาตรฐานที่เข้มงวดซึ่งแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex TaC Coating Susceptor แสดงถึงจุดสุดยอดในด้านวิศวกรรมวัสดุ สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์คุณภาพสูง และเสริมความแข็งแกร่งด้วยการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเบื้องต้นเพื่อการใช้งานภายในการเติบโตของผลึก SiC และกระบวนการ epitaxis ของ SiC ส่วนประกอบที่เป็นนวัตกรรมใหม่นี้ถือเป็นสัญญาณแห่งความทนทานและประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมที่มีความร้อนและสารเคมีที่รุนแรง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบด้วยการเคลือบแบบพิเศษซึ่งทำหน้าที่หลายอย่างเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ภายในเครื่องจักรเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม