ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ เราต้องการจัดหาเครื่องทำเวเฟอร์ให้กับคุณ เครื่องทำความร้อนสำหรับอุปกรณ์สะสมต้องมีการกระจายความร้อนสม่ำเสมอทั่วแผ่นเวเฟอร์ พร้อมด้วยความบริสุทธิ์สูงและความต้านทานพลาสมา Semicorex จัดหาการใช้งานทำความร้อนที่เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ CVD รวมถึงเครื่องทำความร้อนและถ้วยใส่ตัวอย่าง ส่วนประกอบการทำความร้อนขั้นสูงของเราเหมาะสำหรับกระบวนการสะสม ALD-CVD-PVD ในสภาพแวดล้อมการสะสมสุญญากาศ
การเคลือบ CVD SiC ของเครื่องทำความร้อนเคลือบ Semicorex SiC มอบประสิทธิภาพที่เหนือกว่าในการปกป้ององค์ประกอบความร้อนจากสภาพแวดล้อมที่รุนแรง กัดกร่อน และเกิดปฏิกิริยาซึ่งมักพบในกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมไอของโลหะ-อินทรีย์เคมี (MOCVD) และการเจริญเติบโตแบบอีพิแอกเซียล**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเครื่องทำความร้อน MOCVD จาก Semicorex เป็นส่วนประกอบขั้นสูงและได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างพิถีพิถันซึ่งมีข้อดีหลายประการ รวมถึงความบริสุทธิ์ทางเคมีที่ยอดเยี่ยม ประสิทธิภาพเชิงความร้อน การนำไฟฟ้า การแผ่รังสีสูง ความต้านทานการกัดกร่อน ความสามารถในการออกซิไดซ์ และความแข็งแรงเชิงกล**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม