วงแหวนทางเข้าของแก๊สใช้เพื่อปิดขอบเวเฟอร์และปริมณฑล ปกป้องส่วนประกอบห้องที่สำคัญเพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาด เฉื่อย และได้รับการปกป้อง และยืดอายุการใช้งานในห้องสะสม เพื่อให้ชิ้นส่วนเหล่านี้สัมผัสกับพลาสมาและอุณหภูมิสูงในระหว่างการสะสมหรือการประมวลผลเวเฟอร์ ดังนั้นความทนทานของพลาสมาที่แข็งแกร่งและความบริสุทธิ์สูงจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อผลผลิตเวเฟอร์ขั้นสุดท้าย
วงแหวนเคลือบ Semicorex CVD SiC ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานอุปกรณ์ epitaxy ที่มีความต้องการสูงเหล่านี้
วงแหวน Inlet Semicorex Sic เป็นส่วนประกอบของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาสำหรับอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์นำเสนอเสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมความต้านทานทางเคมีและการตัดเฉือนที่แม่นยำ การเลือก Semicorex หมายถึงการเข้าถึงโซลูชันที่เชื่อถือได้ปรับแต่งและปนเปื้อนที่เชื่อถือได้โดยผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม