วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ชิ้นบางเรียกว่าเวเฟอร์ ซึ่งประกอบด้วยวัสดุผลึกเดี่ยวที่บริสุทธิ์มาก ในกระบวนการของ Czochralski แท่งทรงกระบอกของสารกึ่งตัวนำชนิดโมโนคริสตัลไลน์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นทำขึ้นโดยการดึงเมล็ดคริสตัลออกจากการหลอมเหลว
ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) และโพลีไทป์เป็นส่วนหนึ่งของอารยธรรมมนุษย์มาช้านาน ความสนใจทางเทคนิคของสารประกอบที่มีความแข็งและเสถียรนี้ได้รับการยอมรับในปี พ.ศ. 2428 และ พ.ศ. 2435 โดย Cowless และ Acheson เพื่อวัตถุประสงค์ในการบดและการตัด ซึ่งนำไปสู่การผลิตในปริมาณมาก
คุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ยอดเยี่ยมทำให้ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นตัวเลือกที่โดดเด่นสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย รวมถึงอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ที่อุณหภูมิสูง กำลังสูง และความถี่สูง ซึ่งเป็นส่วนประกอบโครงสร้างในเครื่องปฏิกรณ์ฟิวชัน วัสดุหุ้มสำหรับระบายความร้อนด้วยแก๊ส เครื่องปฏิกรณ์ฟิชชัน และเมทริกซ์เฉื่อยสำหรับการแปรสภาพของ Pu SiC ชนิดโพลีต่างๆ เช่น 3C, 6H และ 4H ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย การฝังไอออนเป็นเทคนิคสำคัญในการคัดเลือกสารเจือปนสำหรับการผลิตอุปกรณ์ Si-based เพื่อสร้าง p-type และ n-type SiC wafers
ลิ่มจากนั้นจะหั่นเป็นแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC
คุณสมบัติของวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์
โพลีไทป์ |
ผลึกเดี่ยว 4H |
โครงสร้างคริสตัล |
หกเหลี่ยม |
แบนด์แก๊ป |
3.23 อีโวลต์ |
การนำความร้อน (ชนิด n; 0.020 โอห์ม-ซม.) |
a~4.2 W/cm ⢠K @ 298 K c~3.7 W/cm ⢠K @ 298 K |
การนำความร้อน (HPSI) |
a~4.9 W/cm ⢠K @ 298 K c~3.9 W/cm ⢠K @ 298 K |
พารามิเตอร์ขัดแตะ |
ก=3.076 อั c=10.053 อั |
ความแข็งของโมห์ส |
~9.2 |
ความหนาแน่น |
3.21 ก./ซม3 |
เทอร์ม. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัว |
4-5 x 10-6/เค |
SiC เวเฟอร์ประเภทต่างๆ
มีสามประเภท:n-type sic เวเฟอร์, p-ประเภท sic เวเฟอร์และเวเฟอร์ sic กึ่งฉนวนที่มีความบริสุทธิ์สูง. ยาสลบหมายถึงการฝังไอออนที่ทำให้ผลึกซิลิกอนมีสิ่งเจือปน สารเจือปนเหล่านี้ช่วยให้อะตอมของคริสตัลสร้างพันธะไอออนิก ทำให้คริสตัลที่ครั้งหนึ่งเคยอยู่ภายในนั้นอยู่ภายนอก กระบวนการนี้ทำให้เกิดสิ่งเจือปนสองประเภท ประเภท N และประเภท P âtypeâ มันจะกลายเป็นขึ้นอยู่กับวัสดุที่ใช้ในการสร้างปฏิกิริยาเคมี ความแตกต่างระหว่างเวเฟอร์ SiC ชนิด N และชนิด P คือวัสดุหลักที่ใช้สร้างปฏิกิริยาเคมีระหว่างการเติม ขึ้นอยู่กับวัสดุที่ใช้ วงโคจรรอบนอกจะมีอิเล็กตรอนห้าหรือสามตัวซึ่งมีประจุลบ (ชนิด N) และหนึ่งประจุบวก (ชนิด P) ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับวัสดุที่ใช้
เวเฟอร์ SiC ชนิด N ส่วนใหญ่จะใช้ในรถยนต์พลังงานใหม่ การส่งไฟฟ้าแรงสูงและสถานีไฟฟ้าย่อย สินค้าสีขาว รถไฟความเร็วสูง มอเตอร์ อินเวอร์เตอร์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ อุปกรณ์จ่ายไฟแบบพัลส์ ฯลฯ พวกเขามีข้อดีในการลดการสูญเสียพลังงานของอุปกรณ์ ปรับปรุง ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ ลดขนาดอุปกรณ์และปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ และมีข้อได้เปรียบที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
เวเฟอร์ SiC กึ่งฉนวนที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่จะใช้เป็นสารตั้งต้นของอุปกรณ์ RF กำลังสูง
Epitaxy - การสะสมไนไตรด์ III-V
ชั้น epitaxial SiC, GaN, AlxGa1-xN และ InyGa1-yN บนพื้นผิว SiC หรือพื้นผิวแซฟไฟร์
สารตั้งต้นเวเฟอร์ Semicorex 3C-SiC ทำจาก SiC พร้อมลูกบาศก์คริสตัล เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์มาหลายปี เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex มีเวเฟอร์ SiC 4H และ 6H หลากหลายประเภท เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์มาหลายปีแล้ว เวเฟอร์ SiC ชนิด N ขนาด 8 นิ้วของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex มีแท่ง SiC ชนิด N ขนาด 4 นิ้ว 6 นิ้ว และ 8 นิ้ว เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์มาหลายปีแล้ว SiC Ingot ชนิด N ขนาด 4" 6" 8" ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex ให้แท่ง SiC กึ่งฉนวนที่มีความบริสุทธิ์สูงขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์มาหลายปีแล้ว SiC Ingot กึ่งฉนวนสูง 4" 6" ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex มีเวเฟอร์ SiC 4H และ 6H หลากหลายประเภท เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์มาหลายปีแล้ว เวเฟอร์ SiC Substrate ชนิด P ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex มีเวเฟอร์ SiC 4H และ 6H หลากหลายประเภท เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายเวเฟอร์มาหลายปีแล้ว เวเฟอร์ SiC ชนิด N ขนาด 6 นิ้วขัดสองชั้นของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม