ฝาห้องใช้เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาด เฉื่อย และได้รับการปกป้องในห้องสะสม ดังนั้นจึงสัมผัสกับพลาสมาและอุณหภูมิสูงในระหว่างกระบวนการสะสมหรือกัดกรด ฝาปิดห้อง Semicorex เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่ทนทานซึ่งเคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์โดยใช้วิธีการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ซึ่งเหมาะสำหรับการยืนหยัดต่อสภาพแวดล้อมที่ท้าทายเหล่านี้