ฝาห้องใช้เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาด เฉื่อย และได้รับการปกป้องในห้องสะสม ดังนั้นจึงสัมผัสกับพลาสมาและอุณหภูมิสูงในระหว่างกระบวนการสะสมหรือกัดกรด ฝาปิดห้อง Semicorex เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่ทนทานซึ่งเคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์โดยใช้วิธีการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ซึ่งเหมาะสำหรับการยืนหยัดต่อสภาพแวดล้อมที่ท้าทายเหล่านี้
Semicorex SIC LID เป็นส่วนประกอบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง การเลือก Semicorex หมายถึงการสร้างความมั่นใจว่าคุณภาพของวัสดุที่ไม่มีใครเทียบวิศวกรรมความแม่นยำและโซลูชั่นที่กำหนดเองได้รับความไว้วางใจจากผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำทั่วโลก*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม