เอนด์เอฟเฟกต์คือมือของหุ่นยนต์ที่เคลื่อนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และตัวพา End effector ต้องมีมิติที่แม่นยำและมีเสถียรภาพทางความร้อน ในขณะที่มีพื้นผิวเรียบและทนต่อการเสียดสีเพื่อจัดการกับเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้อุปกรณ์เสียหายหรือก่อให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค
ส่วนประกอบการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ความบริสุทธิ์สูง Semicorex ให้การต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อนสม่ำเสมอ เพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และความทนทานต่อสารเคมีที่ทนทาน
Semicorex sic arm เป็นส่วนประกอบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ออกแบบมาสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่แม่นยำและการวางตำแหน่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเลือก Semicorex ทำให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือของวัสดุความต้านทานทางเคมีและวิศวกรรมที่มีความแม่นยำซึ่งสนับสนุนกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex sic fingers เป็นส่วนประกอบที่ได้รับการออกแบบที่มีความแม่นยำจากซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อดำเนินการภายใต้ความต้องการที่รุนแรงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเลือก Semicorex หมายถึงการเข้าถึงความเชี่ยวชาญด้านวัสดุขั้นสูงการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงและโซลูชั่นที่เชื่อถือได้ที่เชื่อถือได้ในแอปพลิเคชันการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม