TAC เคลือบเบ้าหลอมในการเจริญเติบโตของคริสตัล sic

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาเคลือบ TACไม้กางเขนได้กลายเป็นวิธีแก้ปัญหาทางเทคนิคที่สำคัญเช่นภาชนะปฏิกิริยาในกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) วัสดุ TAC ได้กลายเป็นวัสดุสำคัญในด้านการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์เนื่องจากความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรของอุณหภูมิสูง เมื่อเปรียบเทียบกับร่องรอยกราไฟท์แบบดั้งเดิมตรึงกางเขนเคลือบ TAC ให้สภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตที่มีเสถียรภาพมากขึ้นลดผลกระทบของการกัดกร่อนของกราไฟท์ยืดอายุการใช้งานของเบ้าหลอมและหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์ของการห่อคาร์บอนซึ่งช่วยลดความหนาแน่นของ microtubes

 รูปที่ 1 การเจริญเติบโตของคริสตัล sic

ข้อดีและการวิเคราะห์การทดลองของตรึงกางเขนที่เคลือบด้วย TAC

ในการศึกษานี้เราเปรียบเทียบการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์โดยใช้ไม้กางเขนกราไฟท์แบบดั้งเดิมและกางเขนกราไฟท์ที่เคลือบด้วย TAC ผลการศึกษาพบว่าไขว้ที่เคลือบด้วย TAC ช่วยปรับปรุงคุณภาพของผลึกอย่างมีนัยสำคัญ

รูปที่ 2 ภาพของ sic ingot ที่ปลูกโดยวิธี Pvt

รูปที่ 2 แสดงให้เห็นว่าคริสตัลซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปลูกในไม้กางเขนกราไฟท์แบบดั้งเดิมแสดงอินเทอร์เฟซเว้าในขณะที่ที่ปลูกในไม้กางเขนเคลือบ TAC แสดงอินเทอร์เฟซนูน ยิ่งไปกว่านั้นดังที่เห็นในรูปที่ 3 ปรากฏการณ์ polycrystalline ขอบนั้นเด่นชัดในผลึกที่ปลูกโดยใช้ไขว้กราไฟท์แบบดั้งเดิมในขณะที่การใช้ไม้กางเขนที่เคลือบด้วย TAC ช่วยบรรเทาปัญหานี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

การวิเคราะห์บ่งชี้ว่าการเคลือบ TACเพิ่มอุณหภูมิที่ขอบของเบ้าหลอมซึ่งจะช่วยลดอัตราการเติบโตของผลึกในพื้นที่นั้น นอกจากนี้การเคลือบ TAC จะป้องกันการสัมผัสโดยตรงระหว่างผนังด้านกราไฟท์และคริสตัลซึ่งช่วยลดนิวเคลียส ปัจจัยเหล่านี้ลดความน่าจะเป็นของความผิดพลาดที่เกิดขึ้นที่ขอบของคริสตัล

รูปที่ 3 ภาพของเวเฟอร์ในระยะการเติบโตที่แตกต่างกัน

นอกจากนี้ผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปลูกในเคลือบด้วย TACไม้กางเขนแสดงให้เห็นว่าแทบไม่มีการห่อหุ้มคาร์บอนซึ่งเป็นสาเหตุที่พบบ่อยของข้อบกพร่องของไมโครโพรพิช เป็นผลให้ผลึกเหล่านี้แสดงให้เห็นถึงการลดลงอย่างมีนัยสำคัญในความหนาแน่นของข้อบกพร่อง micropipe ผลการทดสอบการกัดกร่อนที่นำเสนอในรูปที่ 4 ยืนยันว่าผลึกที่ปลูกในไม้กางเขนที่เคลือบด้วย TAC นั้นแทบไม่มีข้อบกพร่อง micropipe

รูปที่ 4 ภาพ om หลังจากการแกะสลักเกาะ

การปรับปรุงคุณภาพของคริสตัลและการควบคุมสิ่งเจือปน

จากการทดสอบ GDMS และ Hall ของผลึกการศึกษาพบว่าปริมาณ TA ในคริสตัลเพิ่มขึ้นเล็กน้อยเมื่อใช้ไม้กางเขนเคลือบ TAC แต่การเคลือบ TAC นั้น จำกัด การเข้าของไนโตรเจน (N) ลงไปในผลึกอย่างมีนัยสำคัญ โดยสรุปตรึงกางเขนเคลือบ TAC สามารถปลูกผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีคุณภาพสูงขึ้นโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการลดความหนาแน่นของข้อบกพร่อง (โดยเฉพาะ microtubes และการห่อหุ้มคาร์บอน) และการควบคุมความเข้มข้นของไนโตรเจน

Semicorex มีคุณภาพสูงเบ้าหลอมกราไฟท์เคลือบ TACสำหรับการเติบโตของคริสตัล sic หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com