เครื่องทำความร้อนเซรามิก

ในกระบวนการส่วนหน้า (FEOL) ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์จำเป็นต้องได้รับการรักษาด้วยกระบวนการต่าง ๆ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเวเฟอร์จะต้องได้รับความร้อนถึงอุณหภูมิที่แน่นอนและมีข้อกำหนดที่เข้มงวดเนื่องจากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลกระทบที่สำคัญมากต่อผลผลิตผลิตภัณฑ์ ในเวลาเดียวกันอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องทำงานต่อหน้าสุญญากาศพลาสมาและก๊าซเคมีซึ่งต้องใช้เครื่องทำความร้อนเซรามิกเครื่องทำความร้อนเซรามิกเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาจะใช้ในห้องกระบวนการและติดต่อเวเฟอร์โดยตรงเพื่อพกพาและเปิดใช้งานเวเฟอร์เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่มั่นคงและสม่ำเสมอและตอบสนองด้วยความแม่นยำสูงบนพื้นผิวของเวเฟอร์เพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ

เนื่องจากอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางที่ใช้โดยเครื่องทำความร้อนเซรามิกนั้นเกี่ยวข้องกับอุณหภูมิสูงวัสดุเซรามิกส่วนใหญ่ใช้อลูมิเนียมไนไตรด์ (ALN) เนื่องจากอลูมิเนียมไนไตรด์มีฉนวนไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม นอกจากนี้ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของมันอยู่ใกล้กับซิลิคอนและมีความต้านทานต่อพลาสมาที่ยอดเยี่ยมเหมาะสำหรับใช้เป็นส่วนประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

chucks ไฟฟ้าสถิต (ESCs) ส่วนใหญ่ใช้ในอุปกรณ์การแกะสลักส่วนใหญ่อลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3) เนื่องจากตัวชัคไฟฟ้าสถิตเองก็มีเครื่องทำความร้อนด้วยการแกะสลักแบบแห้งเป็นตัวอย่างจึงจำเป็นต้องควบคุมเวเฟอร์ที่อุณหภูมิที่เฉพาะเจาะจงในช่วง -70 ℃ ~ 100 ℃เพื่อรักษาลักษณะการแกะสลักบางอย่าง ดังนั้นเวเฟอร์จะต้องได้รับความร้อนหรือสลายตัวโดยเชยไฟฟ้าสถิตเพื่อควบคุมอุณหภูมิเวเฟอร์อย่างแม่นยำ นอกจากนี้เพื่อให้แน่ใจว่าความสม่ำเสมอของพื้นผิวเวเฟอร์เชยไฟฟ้าสถิตมักจะต้องเพิ่มเขตควบคุมอุณหภูมิเพื่อควบคุมอุณหภูมิของแต่ละเขตควบคุมอุณหภูมิแยกต่างหากเพื่อปรับปรุงผลผลิตกระบวนการ แน่นอนว่าด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีความแตกต่างระหว่างเครื่องทำความร้อนเซรามิกแบบดั้งเดิมและ chucks ไฟฟ้าสถิตได้เริ่มเบลอ เครื่องทำความร้อนเซรามิกบางตัวมีฟังก์ชั่นคู่ของความร้อนอุณหภูมิสูงและการดูดซับไฟฟ้าสถิต

เครื่องทำความร้อนเซรามิกรวมถึงฐานเซรามิกที่ดำเนินการเวเฟอร์และร่างกายสนับสนุนทรงกระบอกที่รองรับด้านหลัง ภายในหรือบนพื้นผิวของฐานเซรามิกนอกเหนือจากองค์ประกอบความต้านทาน (ชั้นความร้อน) สำหรับการให้ความร้อนแล้วยังมีอิเล็กโทรดความถี่วิทยุ (ชั้นความถี่วิทยุ) เพื่อให้ได้ความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็วความหนาของฐานเซรามิกควรจะผอม แต่บางเกินไปก็จะลดความแข็งแกร่งได้เช่นกัน โดยทั่วไปแล้วร่างกายสนับสนุนของฮีตเตอร์จะทำจากวัสดุที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนคล้ายกับฐานดังนั้นร่างกายที่สนับสนุนมักทำจากอลูมิเนียมไนไตรด์ เครื่องทำความร้อนใช้โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ของข้อต่อเพลา (เพลา) ที่ด้านล่างซึ่งสามารถป้องกันเทอร์มินัลและสายไฟจากผลกระทบของพลาสมาและก๊าซเคมีกัดกร่อน ช่องทางเข้าก๊าซความร้อนและท่อทางออกมีให้ในร่างกายรองรับเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิสม่ำเสมอของเครื่องทำความร้อน ฐานและร่างกายสนับสนุนถูกผูกมัดทางเคมีด้วยชั้นพันธะ

Semicorex มีคุณภาพสูงเครื่องทำความร้อนเซรามิก- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com