แนะนำวัสดุอลูมินา

อลูมินาเซรามิกส่วนประกอบมีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมเช่นความแข็งสูงความแข็งแรงเชิงกลสูงความต้านทานต่อการสึกหรอสุดความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานสูงและประสิทธิภาพของฉนวนไฟฟ้าที่ดี พวกเขาสามารถตอบสนองความต้องการประสิทธิภาพที่ซับซ้อนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในสภาพแวดล้อมพิเศษเช่นสูญญากาศและอุณหภูมิสูง พวกเขามีบทบาทที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้และสำคัญในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แอพพลิเคชั่นของพวกเขาครอบคลุมอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกือบทั้งหมดและเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ความสำคัญของส่วนประกอบเซรามิกอะลูมินาในห่วงโซ่อุตสาหกรรมจะกลายเป็นที่โดดเด่นมากขึ้น

เมื่อขนาดคุณสมบัติของชิปลดลงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นเกี่ยวกับส่วนประกอบและความหนาแน่นความสม่ำเสมอความต้านทานการกัดกร่อน ฯลฯ จะต้องสูงขึ้น ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมานักวิชาการทั้งในและต่างประเทศได้พัฒนากระบวนการใหม่ที่หลากหลายเพื่อปรับปรุงสภาพการเผาวัสดุของอลูมินาเซรามิกเพื่อให้พวกเขาสามารถบรรลุความหนาแน่นอย่างรวดเร็วของวัสดุที่อุณหภูมิการเผาไหม้ต่ำเช่นการเผาไหม้อุณหภูมิสูง ในหมู่พวกเขาการเผาเย็นคือการเพิ่มตัวทำละลายชั่วคราวลงในผงและใช้แรงดันขนาดใหญ่ (350 ~ 500mpa) เพื่อเพิ่มการจัดเรียงใหม่และการแพร่กระจายระหว่างอนุภาคเพื่อให้ผงเซรามิกสามารถเผาและหนาแน่นที่อุณหภูมิที่ต่ำกว่า (120 ~ 300 ℃)

ในปัจจุบันกระบวนการผลิตวงจรรวมทั่วโลกได้พัฒนาไปสู่กระบวนการขั้นสูงมากขึ้นในระดับ 3 นาโนเมตร อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ส่วนประกอบที่แม่นยำจะต้องได้รับการพัฒนาและอัพเกรดอย่างต่อเนื่องและต้องปรับปรุงกระบวนการเพื่อตอบสนองความต้องการด้านการผลิตปลายน้ำ เมื่ออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้รับการปรับปรุงข้อกำหนดเฉพาะของอุปกรณ์ใหม่สำหรับส่วนประกอบจะเปลี่ยนแบบซิงโครนัส ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพสำหรับส่วนประกอบเซรามิกอลูมินาจะสูงขึ้นเรื่อย ๆ รวมถึงความต้านทานการสึกหรอที่สูงขึ้นความต้านทานอุณหภูมิสูงและฉนวนไฟฟ้าที่ดีขึ้น แนวโน้มของอุตสาหกรรมมีแนวโน้มที่จะพัฒนาความบริสุทธิ์ที่สูงขึ้นโครงสร้างที่ดีขึ้นของวัสดุผงอลูมินาและใช้เทคโนโลยีการเตรียมการขั้นสูง

เซรามิกอลูมินามีข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์สูงมากเมื่อใช้ในสนามเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปมากกว่า 99.5% ในสนามเซมิคอนดักเตอร์อะลูมินาเซรามิกเป็นหนึ่งในส่วนสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ส่วนใหญ่ใช้ในห้องใกล้กับเวเฟอร์มากขึ้น ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะถูกจำแนกตามการใช้งานและส่วนใหญ่แบ่งออกเป็นกระบอกสูบวงแหวนคู่มือการไหลเวียนของอากาศ, การรับน้ำหนักคงที่, ปะเก็นมือจับมือ, โมดูล ฯลฯ

ในกระบวนการแกะสลักเพื่อลดการปนเปื้อนของเวเฟอร์ในระหว่างการแกะสลักพลาสมาการเคลือบอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือเซรามิกอะลูมินาที่มีความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งถูกเลือกเป็นวัสดุป้องกันสำหรับห้องแกะสลักและซับในห้อง

ในกระบวนการทำความสะอาดพลาสมาจะใช้ก๊าซกัดกร่อนที่มีองค์ประกอบฮาโลเจนที่มีปฏิกิริยาสูงเช่นฟลูออรีนและคลอรีน หัวฉีดแก๊สมักทำจากอลูมินาเซรามิกซึ่งจำเป็นต้องมีความต้านทานต่อพลาสม่าสูงความแข็งแรงของอิเล็กทริกและความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งต่อการประมวลผลก๊าซและผลพลอยได้ ในเวลาเดียวกันโครงสร้างรูความแม่นยำภายในใช้เพื่อควบคุมการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์อาจได้รับการรักษาที่อุณหภูมิสูงเช่นการแกะสลักการฝังไอออน ฯลฯ ในฐานะผู้ให้บริการสำหรับการส่งเวเฟอร์ผู้ให้บริการอลูมินาเวเฟอร์สามารถมั่นใจได้ถึงความมั่นคงและความปลอดภัยของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการส่ง ผู้ให้บริการเวเฟอร์อลูมินามีค่าการนำความร้อนที่ดีและสามารถกระจายและส่งออกความร้อนที่เกิดจากเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพซึ่งจะช่วยปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายทางความร้อน

ในการจัดการเวเฟอร์จะใช้แขนหุ่นยนต์เซรามิกที่ทำจากเซรามิกอลูมินา มันจะถูกติดตั้งบนหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ซึ่งเทียบเท่ากับมือของหุ่นยนต์ มันมีหน้าที่รับผิดชอบในการบรรทุกเวเฟอร์ไปยังตำแหน่งที่กำหนดและพื้นผิวของมันสัมผัสโดยตรงกับเวเฟอร์ เนื่องจากเวเฟอร์มีความอ่อนไหวต่อการปนเปื้อนอย่างมากโดยอนุภาคอื่น ๆ พวกมันมักจะดำเนินการในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ ในสภาพแวดล้อมนี้แขนหุ่นยนต์ของวัสดุส่วนใหญ่มักจะยากที่จะทำงานให้เสร็จ วัสดุที่ใช้ในการทำให้แขนหุ่นยนต์ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงทนต่อการสึกหรอและมีความแข็งสูง เนื่องจากข้อกำหนดของสภาพการทำงานมักจะทำจากวัสดุเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงมากและความแม่นยำและความขรุขระของพื้นผิวของชิ้นส่วนเซรามิกจำเป็นต้องรับประกัน

Semicorex มีคุณภาพสูงชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาในเซมิคอนดักเตอร์รวมถึงการเคลือบ SIC และการเคลือบ TAC หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com