เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เคลือบนำไฟฟ้า

ที่เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เคลือบเป็นผลิตภัณฑ์ใหม่ที่ออกแบบมาสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูงและระบบความร้อนสูญญากาศอื่น ๆ มันใช้เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและลักษณะพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมของการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เคลือบตัวนำไฟฟ้านั้นแตกต่างกันมากขึ้นโดยชั้น SIC ที่มีไนโตรเจนที่มีการนำไฟฟ้าที่ดีขึ้นอย่างมากทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่ต้องการควบคุมและให้ความร้อนด้วยประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม

เครื่องทำความร้อนถูกสร้างขึ้นด้วยสารตั้งต้นกราไฟท์ที่มีความแข็งแรงสูงซึ่งทำหน้าที่เป็นตัวนำโครงสร้างหลักและตัวนำความร้อน กราไฟท์ได้รับการคัดเลือกโดยเฉพาะเนื่องจากค่าการนำความร้อนในระดับสูงค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำและความยืดหยุ่นต่อการกระแทกด้วยความร้อน ลักษณะเหล่านี้ทำให้กราไฟท์เป็นวัสดุฐานที่เหมาะสมในการใช้งานกระบวนการอุณหภูมิสูงซึ่งอาจมีวัฏจักรความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็ว อย่างไรก็ตามกราไฟท์ที่เก่าแก่นั้นมีปฏิกิริยาทางเคมีในบรรยากาศบางอย่างและสามารถพบกับความเสียหายของพื้นผิวหรือการย่อยสลายการปล่อยอนุภาคหรือการพกพาในระหว่างการใช้งานโดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่สะอาดของเซมิคอนดักเตอร์

เพื่อเอาชนะข้อ จำกัด เหล่านี้ส่วนกราไฟท์จะถูกเคลือบด้วยชั้น SIC ที่มีความหนาและมีความบริสุทธิ์สูง การเคลือบ SIC ทำหน้าที่หลายฟังก์ชั่น: มันให้ระดับการป้องกันการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อนทางเคมีมันให้พื้นผิวที่ทนต่อการสึกหรอและช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเข้ากันได้กับมาตรฐานสูญญากาศและห้องทำความสะอาด SIC มีชื่อเสียงในเรื่องความแข็งสุดขีดการนำความร้อนสูงและความเฉื่อยทางเคมี ด้วยเหตุนี้จึงเป็นวัสดุเคลือบที่ยอดเยี่ยมสำหรับส่วนประกอบความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูง

นวัตกรรมที่เป็นเอกลักษณ์ของผลิตภัณฑ์นี้คือการเติมไนโตรเจนของการเคลือบ SIC ในระหว่างกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) อะตอมไนโตรเจนจะถูกฝังลงใน SIC lattice ผลิตผู้ให้บริการฟรีซึ่งสามารถลดความต้านทานพื้นผิวของมันได้อย่างมากและสร้างชั้นพื้นผิวที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและอนุญาตให้กระแสผ่านโดยตรงแทนที่จะใช้จุดเชื่อมต่อ

คลาสสิคการเคลือบ sicเป็นฉนวนซึ่ง จำกัด ไว้ในขอบเขตของการใช้งานไฟฟ้าที่ใช้งานอยู่ ในทางกลับกันเลเยอร์ SIC ที่มีไนโตรเจนเจือบนเครื่องทำความร้อนมีความต้านทานพื้นผิวต่ำมากในขณะที่ยังคงรักษาประโยชน์ทางกลและทางเคมีทั้งหมดของ SIC แบบคลาสสิก ชั้นนำไฟฟ้าให้ความสม่ำเสมอในปัจจุบันที่ดีมากและลดการสูญเสียพลังงานในขณะที่ปรับปรุงการกระจายความร้อนบนพื้นผิวเครื่องทำความร้อน มันเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานการให้ความร้อนที่แม่นยำภายใต้เงื่อนไขที่มักเกี่ยวข้องกับเครื่องปฏิกรณ์ epitaxial เตาเผาการแพร่และอุปกรณ์การประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)

เรขาคณิตเครื่องทำความร้อนมักจะเป็นเกลียวหรืองูดังที่แสดงในภาพได้รับการออกแบบและปรับให้เหมาะสมด้วยความตั้งใจในการผลิตพลังงานความร้อนที่สม่ำเสมอและการโหลดไฟฟ้าสม่ำเสมอ ด้วยการออกแบบแบบบูรณาการของกราไฟท์และการเคลือบ SIC ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าหน้าสัมผัสไฟฟ้าสามารถทำได้โดยตรงบนพื้นผิวที่เคลือบซึ่งไม่จำเป็นต้องใช้ขั้วไฟฟ้าเพิ่มเติมหรือการเชื่อมต่อโลหะเพิ่มเติม สิ่งนี้จะช่วยลดความเสี่ยงการปนเปื้อนและส่งผลให้แอสเซมบลีง่ายขึ้น ดังนั้นประสิทธิภาพโดยรวมจึงดีขึ้น

ประโยชน์หลักของตัวนำเครื่องทำความร้อนกราไฟท์เคลือบรวม:

การนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมเนื่องจากการเติมไนโตรเจนทำให้การไหลของกระแสโดยตรงและการให้ความร้อนที่มีประสิทธิภาพ

ความสม่ำเสมอของความร้อนที่เหนือกว่าด้วยการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำตลอดพื้นที่ผิวทั้งหมด

ความต้านทานทางเคมีสูงโดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนเช่นไฮโดรเจนแอมโมเนียหรือบรรยากาศที่อุดมด้วยฮาโลเจน

การสร้างอนุภาคน้อยที่สุดตรงตามข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

อายุการใช้งานที่ยืดเยื้อเนื่องจากความทนทานเชิงกลและความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนของทั้งแกนกราไฟท์และการเคลือบ SIC

แอพพลิเคชั่นสำหรับเครื่องทำความร้อนนี้ขยายไปทั่วอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงจำนวนมาก เครื่องทำความร้อนจะพบสถานที่ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เช่นการสะสมไอสารเคมี (CVD), epitaxy ลำแสงโมเลกุล (MBE) และการหลอมเวเฟอร์ที่การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและความบริสุทธิ์ของวัสดุมีความสำคัญ เครื่องทำความร้อนกราไฟท์ที่เคลือบด้วย SIC สามารถใช้ในการผลิตโซลาร์เซลล์การเผาเซรามิกขั้นสูงและในกระบวนการความร้อนอื่น ๆ ที่มีประสิทธิภาพสูงกว่าความทนทานและเครื่องทำความร้อนที่แข็งแกร่ง

โดยสรุปฮีตเตอร์กราไฟท์ที่เคลือบด้วย SIC แบบนำไฟฟ้าเป็นความก้าวหน้าที่น่าประทับใจในการพัฒนาส่วนประกอบความร้อน ด้วยการใช้การเคลือบ SIC ที่เจือด้วยไนโตรเจนเราได้พัฒนาผลิตภัณฑ์ความร้อนที่มีประสิทธิภาพซึ่งประสบความสำเร็จในการรวมความเสถียรทางเคมีของการเคลือบ SIC เข้ากับการนำไฟฟ้า ดังนั้นการผลิตกระบวนการความร้อนที่มีประสิทธิภาพมากขึ้นสะอาดและเชื่อถือได้มากขึ้นสำหรับการใช้งานอุตสาหกรรมที่ต้องการมากที่สุด อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุต้องเผชิญกับการเปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องและวัสดุไฮบริดประเภทนี้จะมีความสำคัญมากขึ้นในการเปิดใช้งานเทคโนโลยีขั้นสูงในอนาคตสำหรับการผลิต

Semicorex มีคุณภาพสูงเครื่องทำความร้อนกราไฟท์ด้วยการเคลือบสินค้า. หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com