เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

เบื้องหลังทุกกระบวนการอุณหภูมิสูงในการผลิตเวเฟอร์นั้นเป็นผู้เล่นที่เงียบ แต่สำคัญ: เรือเวเฟอร์ ในฐานะผู้ให้บริการหลักที่ติดต่อเวเฟอร์ซิลิคอนโดยตรงในระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์วัสดุความมั่นคงและความสะอาดนั้นเกี่ยวข้องโดยตรงกับผลผลิตชิปสุดท้ายและเสถียรภาพของกระบวนการ ในบรรดาวัสดุผู้ให้บริการต่างๆซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)เรือจะค่อยๆเปลี่ยนโซลูชันควอตซ์แบบดั้งเดิมกลายเป็นโซลูชันที่ต้องการสำหรับกระบวนการขั้นสูงและอุปกรณ์ระดับสูง

ทำไม Sic Wafer Boats?

ด้วยความก้าวหน้าของโหนดกระบวนการต่ำกว่า 7nm และการขยายตัวของหน้าต่างกระบวนการอุณหภูมิสูงเรือเวเฟอร์ควอตซ์แบบดั้งเดิมกำลังดิ้นรนมากขึ้นในแง่ของความเสถียรทางความร้อนการควบคุมอนุภาคและการจัดการอายุการใช้งาน

อย่างไรก็ตาม Silicon Carbide Wafer Boats กำลังค่อยๆได้รับชื่อเสียงเนื่องจากข้อได้เปรียบดังต่อไปนี้:

1. มีความมั่นคงที่อุณหภูมิสูง:

พวกเขามีอุณหภูมิการทำงานระยะยาวที่ 1350-1600 ° C จัดการกระบวนการหลักเช่น CVD การแพร่กระจายและการหลอม แม้แต่การสัมผัสกับอุณหภูมิสั้น ๆ ที่อุณหภูมิ 1800 ° C ก็ไม่ได้ทำให้อ่อนลงหรือเสียรูปทำให้เหมาะสำหรับอุปกรณ์ระดับสูงเช่นเตาหลอมซิลิกอนคาร์ไบด์คริสตัลเดี่ยว

2. การขยายตัวต่ำและความเสถียรของความร้อนด้วยความร้อนสูง:

ด้วยค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำพวกเขาสามารถทนต่ออุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นและลดลงอย่างรวดเร็วลดการแตกโครงสร้างที่เกิดจากความเครียดจากความร้อน พวกเขารักษาสัณฐานวิทยาและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในบรรยากาศที่อุณหภูมิสูงและซับซ้อน (เช่นไฮโดรเจนไนโตรเจนแอมโมเนียและฟลูออไรด์)

3. ทำความสะอาดพื้นผิวและการปนเปื้อนต่ำมาก:

ความบริสุทธิ์ของวัสดุสูงพร้อมสิ่งสกปรกที่เป็นโลหะน้อยที่สุด ความขรุขระพื้นผิวต่ำป้องกันการปนเปื้อนทุติยภูมิของเวเฟอร์ซิลิคอน; การควบคุมความขรุขระของพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมโดย RA ต่ำกว่า0.1μmยับยั้งการไหลของอนุภาคและตรงตามความต้องการห้องทำความสะอาดของกระบวนการขั้นสูง

4. การขึ้นรูปชิ้นเดียวโครงสร้างเรือเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสามารถเกิดขึ้นได้โดยตรงผ่านทางแม่พิมพ์การพิมพ์ 3 มิติไม่จำเป็นต้องมีแม่พิมพ์ปรับปรุงประสิทธิภาพการปรับแต่งอย่างมีนัยสำคัญ เมื่อรวมกับการตัดเฉือนห้าแกนและเทคโนโลยีการตัดลวดฟันของเรือปราศจากเสี้ยนป้องกันรอยขีดข่วนบนเวเฟอร์และทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดการอัตโนมัติที่ราบรื่น

5. ความแข็งแกร่งและชีวิตที่ยาวนาน: 

เรือลำเดียวมีความแข็งแรงในการรับน้ำหนักสูงและสามารถรองรับเวเฟอร์หลายสิบถึง 12 นิ้ว เมื่อเทียบกับเรือควอตซ์แบบดั้งเดิมอายุการใช้งานเฉลี่ยของเรือจะยาวขึ้น 5-10 เท่าลดความถี่การเปลี่ยนอุปกรณ์และค่าใช้จ่ายโดยรวมของการเป็นเจ้าของ

สถานการณ์แอปพลิเคชัน

ความสามารถในการปรับตัวที่กว้างของเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ขยายการใช้งานของพวกเขานอกเหนือจากสนามเซมิคอนดักเตอร์ไปสู่สถานการณ์กระบวนการอุณหภูมิสูงที่หลากหลายรวมถึงวัสดุพลังงานใหม่การผลิต LED และการวิจัยพลังงานนิวเคลียร์

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

มันเหมาะสำหรับกระบวนการสำคัญเช่นออกซิเดชันการแพร่กระจายการสะสม CVD และการปลูกถ่ายไอออนทำให้เป็นพาหะที่มีอุณหภูมิสูงที่ขาดไม่ได้สำหรับสายกระบวนการย่อย 7nm

อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

ในเทคโนโลยีแบตเตอรี่ที่เกิดขึ้นใหม่เช่น TopCon และ HJT เรือเวเฟอร์ใช้ในกระบวนการเตาอุณหภูมิสูงเช่น LPCVD และการหลอมช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงานและอัตราการแปลง

เซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม

สำหรับกระบวนการเจริญเติบโตของ GAN และ SIC Epitaxial ใน LED พวกเขารองรับพื้นผิวแซฟไฟร์หรือซิลิกอนคาร์ไบด์ พวกเขาทนต่อก๊าซกัดกร่อนเช่นNH₃และ HCL สนับสนุนการผลิตอุปกรณ์พลังงานความถี่สูง

วัสดุพลังงานและการวิจัยใหม่แพลตฟอร์มอุณหภูมิสูง

รองรับปฏิกิริยาการเผาไหม้ของวัสดุแคโทดแบตเตอรี่ลิเธียมและการรักษาความร้อนของวัสดุอุตสาหกรรมนิวเคลียร์การรวมความต้านทานความร้อนความต้านทานการกัดกร่อนและความสะอาด

Semicorex เสนอความบริสุทธิ์สูงเรือเวเฟอร์ SIC ที่กำหนดเอง- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com