หัวจับสูญญากาศเซรามิก

หัวจับสูญญากาศเซรามิกทำจากวัสดุเซรามิกที่มีรูพรุนซึ่งมีการกระจายขนาดรูพรุนสม่ำเสมอและมีการเชื่อมต่อภายใน หลังจากการเจียรพื้นผิวจะเรียบและละเอียดอ่อนมีความเรียบดี มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิคอน แซฟไฟร์ และแกลเลียมอาร์เซไนด์

หัวจับสุญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนเป็นแท่นที่ใช้ยึดชิ้นงานโดยใช้หลักการดูดซับสุญญากาศ ส่วนถ่ายเทสุญญากาศของหัวจับเป็นแผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน ซึ่งพอดีกับรูเทเปอร์ที่ฐาน ขอบด้านนอกถูกยึดติดและปิดผนึกไว้กับฐาน ซึ่งผลิตจากเซรามิกหรือโลหะที่มีความแม่นยำ ด้วยการรวมฐานโลหะหรือเซรามิกเข้ากับเซรามิกที่มีรูพรุนพิเศษ และด้วยการออกแบบช่องอากาศภายในที่แม่นยำ แรงดันลบจึงถูกนำไปใช้กับหัวจับ ช่วยให้ชิ้นงานสามารถติดเข้ากับหัวจับได้อย่างราบรื่นและแน่นหนา

หัวจับสุญญากาศเซรามิกกับหัวจับโลหะแบบดั้งเดิม

หัวจับโลหะแบบดั้งเดิมมีแรงดูดไม่สม่ำเสมอ มีแนวโน้มที่จะเสียรูปบนวัสดุบางๆ ไม่มีคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต และมีแนวโน้มที่จะสึกหรอเนื่องจากมีความแข็งต่ำ ในทางกลับกัน หัวจับสูญญากาศแบบเซรามิกเหมาะสำหรับชิ้นส่วนที่บาง มีคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต และทนทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน

โครงสร้างของหัวจับสูญญากาศเซรามิก

โดยทั่วไปถ้วยดูดสูญญากาศจะประกอบด้วยสองส่วนคือตัวเครื่องหลักและฐาน ตัวเครื่องหลักคือจานเซรามิกที่มีรูพรุน ซึ่งเป็นพื้นที่ใช้งานหลัก โดยทั่วไปจะทำจากเซรามิกที่มีรูพรุน เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน อลูมินาที่มีรูพรุน และวัสดุอื่นๆ วัสดุและความบริสุทธิ์ที่แตกต่างกันจะสอดคล้องกับสีที่ต่างกัน มีการออกแบบทางเดินภายในเพื่อเพิ่มแรงดันอากาศเพื่อให้แรงดันลบปรากฏบนพื้นผิวของหัวจับเพื่อดูดซับวัตถุ ฐานส่วนใหญ่จะใช้เพื่อรองรับตัวเครื่องหลัก เนื่องจากลักษณะของวัสดุ เซรามิกที่มีรูพรุนจึงค่อนข้างเปราะและแตกหักง่าย การเพิ่มฐานจะเป็นประโยชน์ต่อการใช้หัวจับ โดยทั่วไปฐานทำจากสแตนเลส อลูมิเนียมอัลลอยด์ อลูมินา ซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิก ฯลฯ วัสดุที่แตกต่างกันจะมีความเรียบและน้ำหนักแตกต่างกัน

Semicorex นำเสนอคุณภาพสูงหัวจับสูญญากาศแบบกำหนดเอง- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com