กระบวนการ Silicon Epitaxy คืออะไร?

Silicon Epitaxy เป็นกระบวนการผลิตหลักสำหรับวงจรรวม ช่วยให้สามารถประดิษฐ์อุปกรณ์ IC บนชั้น epitaxis ที่มีการเจือเล็กน้อยโดยมีชั้นฝังที่มีสารเจือปนหนัก ขณะเดียวกันก็สร้างจุดเชื่อมต่อ PN ที่โตขึ้น ซึ่งจะช่วยแก้ปัญหาการแยกตัวของ ICเวเฟอร์ซิลิคอนอีพิเทเชียลยังเป็นวัสดุหลักสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบแยกส่วน เนื่องจากสามารถรับประกันแรงดันไฟฟ้าพังทลายสูงของจุดเชื่อมต่อ PN ในขณะที่ลดแรงดันตกคร่อมไปข้างหน้าของอุปกรณ์ การใช้เวเฟอร์ซิลิคอนเอพิเทกเซียลเพื่อสร้างวงจร CMOS สามารถระงับเอฟเฟกต์การสลักอัพได้ ดังนั้น เวเฟอร์ซิลิคอนอีพิเทกเซียลจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายมากขึ้นในอุปกรณ์ CMOS

หลักการของซิลิคอนอีพิแทกซี

โดยทั่วไปแล้ว Silicon Epitaxy จะใช้เตา Epitaxy แบบเฟสไอ หลักการคือการสลายตัวของแหล่งกำเนิดซิลิคอน (เช่น ไซเลน ไดคลอโรซิเลน ไตรคลอโรซิเลน และซิลิคอนเตตราคลอไรด์ ทำปฏิกิริยากับไฮโดรเจนเพื่อสร้างซิลิคอน ในระหว่างการเจริญเติบโต ก๊าซที่ใช้สารกระตุ้น เช่น PH₃ และ B₂H₆ สามารถนำไปใช้พร้อมกันได้ ความเข้มข้นของสารกระตุ้นจะถูกควบคุมอย่างแม่นยำโดยความดันย่อยของก๊าซ เพื่อสร้างชั้นเอพิแทกเซียลที่มีความต้านทานจำเพาะ

ข้อดีของ Silicon Epitaxy สำหรับอุปกรณ์

1. ลดความต้านทานของซีรีย์ ลดความซับซ้อนของเทคนิคการแยก และลดเอฟเฟกต์วงจรเรียงกระแสที่ควบคุมด้วยซิลิคอนใน CMOS

2. ชั้น epitaxial ความต้านทานสูง (ต่ำ) สามารถปลูกแบบ epitaxisly บนพื้นผิวที่มีความต้านทานต่ำ (สูง)

3. ชั้น epitaxis ชนิด N(P) สามารถปลูกได้บนซับสเตรตประเภท P(N) เพื่อสร้างจุดเชื่อมต่อ PN โดยตรง ซึ่งช่วยขจัดปัญหาการชดเชยที่เกิดขึ้นเมื่อสร้างจุดเชื่อมต่อ PN บนซับสเตรตคริสตัลเดี่ยวโดยใช้วิธีการแพร่กระจาย

4.เมื่อรวมกับเทคโนโลยีการมาสก์ การเจริญเติบโตของอีพิแทกเซียลแบบเลือกสรรสามารถทำได้ในพื้นที่ที่กำหนด สร้างเงื่อนไขสำหรับการผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์ที่มีโครงสร้างพิเศษ

5.ในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว สามารถปรับชนิดและความเข้มข้นของยาสลบได้ตามต้องการ การเปลี่ยนแปลงความเข้มข้นอาจเป็นได้ทั้งแบบฉับพลันหรือแบบค่อยเป็นค่อยไป

6. สามารถปรับประเภทและความเข้มข้นของสารเจือปนได้ตามต้องการในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว การเปลี่ยนแปลงความเข้มข้นอาจเกิดขึ้นอย่างฉับพลันหรือค่อยเป็นค่อยไป

Semicorex จัดให้ ศรี epitaxis คส่วนประกอบจำเป็นสำหรับ สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com