รอยบากบนเวเฟอร์คืออะไร?

รอยเวเฟอร์เป็นร่องรูปตัว V หรือรูปตัว U ที่ขอบของ aเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์- แม้จะไม่ใช่ข้อบกพร่องที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการผลิต แต่กลับกลายเป็นเครื่องหมายโครงสร้างที่สำคัญที่ได้รับการออกแบบอย่างตั้งใจ ซึ่งมีหน้าที่หลักในการทำให้สามารถระบุตำแหน่งและการวางแนวของเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ เวเฟอร์แฟลตถูกใช้เป็นเครื่องหมายกำหนดทิศทางในระยะแรกของการพัฒนาเทคโนโลยีเวเฟอร์ อย่างไรก็ตาม เมื่อขนาดเวเฟอร์ค่อยๆ เพิ่มขึ้น การออกแบบขอบแบนก็กินพื้นที่ที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น จึงค่อยๆ ถูกแทนที่ด้วยรอยบากที่กะทัดรัดมากขึ้น

เวเฟอร์บากมีหน้าที่อะไร? 

การผลิตชิปเป็นกระบวนการระดับนาโนเมตร ซึ่งการเบี่ยงเบนทิศทางใดๆ ก็ตามสามารถนำไปสู่ความล้มเหลวของวงจรได้ รอยบากเวเฟอร์ทำหน้าที่เป็นเครื่องหมายการวางแนว ช่วยให้เครื่องการพิมพ์หินและการแกะสลักระบุการวางแนวคริสตัลของเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว รับรองว่าแต่ละขั้นตอนของกระบวนการจะอยู่ในแนวที่ถูกต้องแม่นยำ ชิปแต่ละตัวจะถูกวางตำแหน่งบนแผ่นเวเฟอร์ตามรอยบาก คล้ายกับเส้นเมริเดียนสำคัญ การออกแบบอันชาญฉลาดนี้ทำให้สามารถพิมพ์หินลวดลายวงจรและวางโดยมีรอยบากเป็นข้อมูลอ้างอิงได้ นอกจากนี้ แขนหุ่นยนต์ยังอาศัยรอยบากของแผ่นเวเฟอร์เพื่อแยกแยะด้านหน้า/ด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์และการวางแนวในสายการผลิตแบบอัตโนมัติขั้นสูง ซึ่งป้องกันความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์หรือข้อผิดพลาดของกระบวนการที่เกิดจากการทำงานผิดพลาดได้อย่างมาก หากรอยบากมีการปนเปื้อนหรือเสียหาย แผ่นเวเฟอร์ทั้งหมดอาจถูกปฏิเสธเนื่องจากไม่เป็นไปตามข้อกำหนด

รอยบากของแผ่นเวเฟอร์ยังมีบทบาทสำคัญในการเพิ่มผลผลิตการผลิตชิปอีกด้วย เนื่องจากขอบเวเฟอร์มีแนวโน้มที่จะเกิดข้อบกพร่อง เช่น เส้นลื่นและรอยแตกในระหว่างการผลิต การวางตำแหน่งที่แม่นยำผ่านรอยบากช่วยให้อุปกรณ์หลีกเลี่ยงพื้นที่ที่มีข้อบกพร่องเหล่านี้ได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดของเสีย สายการผลิตสมัยใหม่ยังนำเทคโนโลยีต่างๆ เช่น การหมุนระบบกันสะเทือนแบบถุงลมมาใช้ในการดำเนินการค้นหาขอบ รอยบากเวเฟอร์ทำหน้าที่เป็นเครื่องหมายสำหรับการตรวจจับแบบไม่สัมผัส ไม่เพียงแต่หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนที่เกิดจากการสัมผัสทางกล แต่ยังช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำในการระบุตัวตนอีกด้วย

Semicorex จัดให้~2000- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com