ฟังก์ชั่นของวงแหวนโฟกัสคืออะไร?

วงแหวนโฟกัสเป็นองค์ประกอบสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์มีความสม่ำเสมอและมีเสถียรภาพ ด้วยการควบคุมสนามไฟฟ้าและความร้อนที่แม่นยำ วงแหวนโฟกัสสามารถรวมพลาสมาไว้บนพื้นผิวเวเฟอร์ ทำให้มั่นใจได้ถึงผลลัพธ์การแกะสลักที่สม่ำเสมอในทุกตำแหน่งบนเวเฟอร์

หน้าที่ของวงแหวนปรับโฟกัส

1. ปรับปรุงความสม่ำเสมอของการแกะสลัก

ในกระบวนการแกะสลัก วงแหวนโฟกัสสามารถรวมพลาสมาไปที่เวเฟอร์พื้นผิว ซึ่งรับประกันความหนาแน่นของพลาสมาสม่ำเสมอ มุมการทิ้งระเบิดไอออน และระดับพลังงานทั่วทั้งขอบเวเฟอร์และบริเวณศูนย์กลางได้อย่างมีประสิทธิภาพ แก้ไขการกระจายสนามไฟฟ้าที่ขอบเวเฟอร์ ลดอัตราการกัด มิติวิกฤต และความแปรผันทางสัณฐานวิทยาที่เกิดจากเอฟเฟกต์ของขอบ จึงรับประกันความสม่ำเสมอในการกัดบนพื้นผิวเวเฟอร์ทั้งหมด หากวงแหวนปรับโฟกัสสึกหรอมากเกินไปหรือไม่มีวงแหวนโฟกัส พลาสมาจะกระจายออกจากขอบเวเฟอร์ ซึ่งท้ายที่สุดจะทำให้เกิดการเบี่ยงเบนที่ไม่เป็นไปตามข้อกำหนดในความกว้างของเส้นระหว่างขอบและบริเวณกึ่งกลาง

2. ป้องกันหัวจับไฟฟ้าสถิต

โดยปกติวงแหวนโฟกัสจะติดตั้งอยู่นอกพื้นผิวตัวพาแผ่นเวเฟอร์ของหัวจับไฟฟ้าสถิต ซึ่งสัมผัสโดยตรงกับการทิ้งระเบิดด้วยพลาสมาและการกัดกร่อน บริการติดตั้งแบบผ่อนชำระนี้เป็นอุปสรรคทางกายภาพเพื่อป้องกันไม่ให้พลาสมาสัมผัสกับหัวจับไฟฟ้าสถิตในระหว่างกระบวนการกัด ซึ่งจะช่วยลดความเสี่ยงของความเสียหายของพลาสมาได้อย่างมาก วงแหวนโฟกัสยังสามารถป้องกันไม่ให้ผลพลอยได้ที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการแกะสลักเกาะติดกับหัวจับแบบไฟฟ้าสถิต จึงหลีกเลี่ยงการลดประสิทธิภาพการทำงานที่เกิดจากการปนเปื้อนและการอุดตันของหัวจับ ซึ่งจะช่วยขยายรอบการบำรุงรักษาและอายุการใช้งานของหัวจับไฟฟ้าสถิตได้อย่างมาก ซึ่งช่วยลดค่าบำรุงรักษาอุปกรณ์และค่าเปลี่ยนทดแทน

วงแหวนโฟกัสมักทำจากความบริสุทธิ์สูงควอตซ์, ซิลิคอนและซิลิคอนคาร์ไบด์วัสดุ. ด้วยประสิทธิภาพที่ครอบคลุมเป็นเลิศ วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์จึงค่อยๆ กลายเป็นตัวเลือกหลักสำหรับกระบวนการแกะสลักที่ล้ำสมัย ในฐานะซัพพลายเออร์วงแหวนโฟกัสเซมิคอนดักเตอร์ที่เชื่อถือได้ในประเทศจีน Semicorex นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงวงแหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์มีหลายขนาดเพื่อให้ตรงกับความต้องการที่แตกต่างกันของอุปกรณ์แกะสลัก Semicorex ยินดีรับฟังข้อซักถามและการซื้อของคุณได้ตลอดเวลา