Semicorex Ceramic นำไปใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยี ผลิตภัณฑ์อัจฉริยะ เช่น โทรศัพท์มือถือ คอมพิวเตอร์ ยานพาหนะไฟฟ้า และหุ่นยนต์ ได้รวมเข้ากับชีวิตของผู้คน ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ประกอบด้วยชิปเซมิคอนดักเตอร์จำนวนมาก และการผลิตชิปต้องใช้อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น เครื่องแกะสลัก เครื่องพิมพ์หิน และเครื่องปลูกไอออน การเปิดอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เผยให้เห็นว่าส่วนประกอบส่วนใหญ่เป็นชิ้นส่วนเซรามิก ชิ้นส่วนเซรามิกมีคุณสมบัติที่ดีเยี่ยม เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีความแม่นยำสูง และมีความแข็งแรงสูง ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนเซรามิกส่วนใหญ่ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จะสัมผัสโดยตรงกับแผ่นเวเฟอร์ ช่วยให้สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำสูงและให้ความร้อนและความเย็นของอุณหภูมิพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว

ชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์เป็นของเซรามิกขั้นสูง และวัสดุเซรามิกที่เกี่ยวข้องโดยทั่วไป ได้แก่ อลูมินา ซิลิคอนคาร์ไบด์ อลูมิเนียมไนไตรด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และอิตเทรียมออกไซด์ โดยทั่วไปวิธีการขึ้นรูปผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ การอัดแห้ง การหล่อด้วยเทป การฉีดขึ้นรูป การกดแบบไอโซสแตติกแบบร้อน การกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น การหล่อแบบสลิป การขึ้นรูปแบบอัดรีด การหล่อแบบร้อน การหล่อแบบเจล และการหล่อแบบแข็งโดยตรง

1. การรีดแบบแห้ง

การกดแบบแห้งเป็นกระบวนการทั่วไปในการผลิตส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการนี้เกี่ยวข้องกับการเทผงละเอียดที่มีการกระจายขนาดอนุภาคที่เหมาะสมลงในโพรงแม่พิมพ์โลหะเป็นหลัก โดยใช้แรงดันด้วยหัวแรงดัน หัวแรงดันจะเคลื่อนที่ภายในโพรงแม่พิมพ์ ถ่ายเทแรงดันไปยังอนุภาคผงและอัดให้แน่น ท้ายที่สุดจะเกิดเป็นเซรามิกเปล่าที่มีรูปร่างและความแข็งแรงเฉพาะเจาะจง

2. การหล่อ

การหล่อเป็นเทคโนโลยีการขึ้นรูปเปียกที่สามารถผลิตชิ้นงานเซรามิกที่มีความหนาตั้งแต่สิบไมโครเมตรไปจนถึงมิลลิเมตรในกระบวนการเดียว สารละลายเซรามิกที่มีความหนืดและการกระจายตัวที่ดีจะไหลจากร่องสารละลายของเครื่องหล่อลงบนพื้นผิว สารละลายจะแพร่กระจาย และภายใต้แรงตึงผิว จะเกิดช่องว่างที่มีพื้นผิวด้านบนเรียบขึ้น ช่องว่างพร้อมกับวัสดุพิมพ์จะถูกส่งไปยังห้องอบแห้ง หลังจากที่ตัวทำละลายระเหยไป สารยึดเกาะอินทรีย์จะก่อตัวเป็นเครือข่ายระหว่างอนุภาคเซรามิก ทำให้เกิดช่องว่างที่มีความแข็งแรงและความยืดหยุ่นในระดับหนึ่ง แผ่นเปล่าที่แห้งแล้วจะถูกลอกออกจากวัสดุพิมพ์แล้วม้วนขึ้นเพื่อใช้ในภายหลัง การประมวลผลเพิ่มเติม เช่น การตัด การตอก และการเจาะ ตามด้วยการเผา จะทำให้กระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์เสร็จสมบูรณ์

3. การฉีดขึ้นรูป

การฉีดขึ้นรูปเป็นเทคโนโลยีใหม่สำหรับการผลิตชิ้นส่วนเซรามิก กระบวนการผลิตส่วนใหญ่ประกอบด้วยสี่ขั้นตอน ได้แก่ การเตรียมวัสดุฉีด การฉีดขึ้นรูป การดีไบดิ้ง และการเผาผนึก โดยทั่วไปจะใช้ในการผลิตชิ้นส่วนเซรามิกขนาดเล็กที่มีรูปทรงซับซ้อนและมีข้อกำหนดพิเศษ

4. การกดแบบไอโซสแตติก

การกดแบบไอโซสแตติกรวมถึงการกดแบบไอโซสแตติกแบบร้อนและการกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น การกดแบบไอโซสแตติกสามารถส่งแรงดันจากทุกทิศทาง จึงรับประกันความหนาแน่นของวัสดุแผ่น

1) กระบวนการกดไอโซสแตติกแบบร้อน

วิธีการนี้ช่วยเพิ่มการแพร่กระจายของอะตอมภายใต้อุณหภูมิและความดันสูง ทำให้รูพรุนในเซรามิกเคลื่อนตัวไปยังขอบเขตของเกรนหรือพื้นผิวชิ้นงาน จึงช่วยลดหรือขจัดความพรุนได้ การกดแบบไอโซสแตติกแบบร้อนใช้หน่วยขดลวดอัดแรงแบบผนังบาง ช่วยให้ระบายความร้อนได้สม่ำเสมอและรวดเร็ว เพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมากเมื่อเทียบกับการทำความเย็นตามธรรมชาติ

2) กระบวนการกดไอโซสแตติกเย็น

วิธีนี้ใช้ 100~600 MPa กับผงเซรามิกหรือโลหะที่อุณหภูมิห้องหรืออุณหภูมิที่สูงขึ้นเล็กน้อย (<93°C) เพื่อให้ได้ "เนื้อสีเขียว" ซึ่งจากนั้นจะถูกเผาจนมีความแข็งแรงขั้นสุดท้าย

5. การหล่อแบบสลิป

การหล่อแบบสลิปเป็นวิธีการขึ้นรูปที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตเซรามิกขนาดใหญ่ โดยการฉีดสารละลายที่มีปริมาณของแข็งสูงและการไหลที่ดีลงในแม่พิมพ์ปูนปลาสเตอร์ที่มีรูพรุน เนื่องจากการดูดของแม่พิมพ์ที่มีรูพรุนในเส้นเลือดฝอย น้ำจึงถูกดึงออกมาจากสารละลายโดยผนังด้านในของแม่พิมพ์ ทำให้เกิดเป็นสีเขียวที่แข็งตัวตลอดผนังแม่พิมพ์ เมื่อร่างกายสีเขียวมีความแข็งแกร่งถึงระดับหนึ่งแล้ว ก็สามารถถอดออกได้

6. การอัดขึ้นรูป

การขึ้นรูปแบบอัดขึ้นรูปเกี่ยวข้องกับการผสมผงเซรามิก ดินเหนียวหรือสารยึดเกาะอินทรีย์ และน้ำ การนวดซ้ำๆ การกำจัดแก๊สแบบสุญญากาศ และการบ่มเพื่อให้ตัวสีเขียวที่อัดออกมามีความเป็นพลาสติกที่ดีและสม่ำเสมอ จากนั้น ภายใต้การกระทำของสกรูอัดรีดหรือลูกสูบ สกรูอัดรีดหรือลูกสูบจะถูกอัดผ่านแม่พิมพ์ที่หัวฉีดของเครื่องอัดรีดเพื่อให้ได้รูปทรงของผลิตภัณฑ์ที่ต้องการ

7. การหล่อแบบกดร้อน

การหล่อแบบกดร้อนส่วนใหญ่ใช้คุณสมบัติของขี้ผึ้งพาราฟินที่ละลายเมื่อได้รับความร้อนและแข็งตัวเมื่อเย็นลง ผงเซรามิกและแว็กซ์พาราฟินร้อนผสมกันจนเกิดเป็นสารละลายที่ไหลได้ ภายใต้แรงกดดันบางอย่าง สารละลายจะถูกฉีดเข้าไปในแม่พิมพ์โลหะเพื่อสร้างตัวสีเขียว หลังจากการเย็นตัวและแข็งตัวแล้ว ตัวเครื่องสีเขียวจะถูกแยกออกและนำออก จากนั้นร่างกายสีเขียวจะถูกตัดแต่ง กำจัดแว็กซ์ที่อุณหภูมิสูง และสุดท้ายก็เผาเพื่อผลิตผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป

8. การหล่อเจล

การหล่อแบบเจลเกี่ยวข้องกับการกระจายผงเซรามิกในสารละลายที่มีอินทรียวัตถุเพื่อเตรียมสารแขวนลอยที่มีของแข็งสูง ระบบกันสะเทือนนี้จะถูกฉีดเข้าไปในแม่พิมพ์ที่มีรูปร่างเฉพาะ ภายใต้สภาวะตัวเร่งปฏิกิริยาและอุณหภูมิจำเพาะ โมโนเมอร์อินทรีย์จะเกิดปฏิกิริยาโพลีเมอร์ ก่อตัวเป็นเจล ทำให้สารแขวนลอยในแหล่งกำเนิดแข็งตัว และแห้ง ส่งผลให้ได้ตัวสีเขียวที่มีความแข็งแรงสูง

9. การหล่อแข็งโดยตรง

การหล่อแข็งตัวโดยตรงเป็นวิธีการใหม่ในการสร้างโครงสร้างคอลลอยด์เซรามิกขนาดสุทธิ วิธีนี้ผสมผสานเทคโนโลยีเซรามิกแบบดั้งเดิมเข้ากับทฤษฎีทางเคมี โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาหรือตัวริเริ่มเพื่อทำให้เกิดการเชื่อมโยงข้ามของโมโนเมอร์อินทรีย์ที่เติมเข้าไปในสารแขวนลอย ทำให้เกิดโครงสร้างเครือข่ายที่นำไปสู่การแข็งตัวในแหล่งกำเนิด

Semicorex นำเสนอหลากหลายส่วนประกอบเซรามิก. หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com