Cantilever Paddles คืออะไร?

ในระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เตาเผาแบบพิเศษจะถูกใช้เพื่อให้ความร้อนแก่เวเฟอร์ เตาเผาเหล่านี้ประกอบด้วยท่อทรงกระบอกยาวซึ่งวางเวเฟอร์ไว้บนเรือเวเฟอร์ในตำแหน่งที่กำหนดไว้ล่วงหน้าและระยะเท่ากัน เพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์การประมวลผลจะไม่ทำให้เวเฟอร์เปลืองและทนทานต่อสภาวะการประมวลผลภายในห้อง เรือเวเฟอร์และอุปกรณ์อื่นๆ ที่ใช้ในการแปรรูปเวเฟอร์จึงถูกประดิษฐ์ขึ้นจากวัสดุ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

เรือเวเฟอร์ซึ่งบรรทุกเวเฟอร์จำนวนหนึ่งเพื่อแปรรูปจะถูกวางตำแหน่งไว้บนไม้พายที่มีคานยื่นยาว ไม้พายเหล่านี้สามารถใส่เข้าและถอนออกจากเตาหลอมแบบท่อและเครื่องปฏิกรณ์ได้ ไม้พายประกอบด้วยส่วนบรรทุกแบบแบนซึ่งสามารถยึดเรือได้หนึ่งลำขึ้นไปและมีด้ามจับยาวอยู่ที่ปลายด้านหนึ่งของส่วนบรรทุกแบบเรียบเพื่อให้ถือได้ง่าย

สำหรับส่วนประกอบที่ดีที่สุดในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ขอแนะนำให้ใช้แป้นพายยื่นที่ทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำซึ่งมีชั้นบางๆ ของ CVD SiC วัสดุนี้มีความบริสุทธิ์สูงและเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับส่วนประกอบดังกล่าว

Semicorex ประดิษฐ์ไม้พายคานยื่นแบบกำหนดเองพร้อมการเคลือบ CVD SiC คุณภาพสูง หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com