เตาแพร่กระจายคืออะไร?

เตาแพร่กระจายเป็นอุปกรณ์พิเศษที่ใช้ในการแนะนำสิ่งเจือปนลงในเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในลักษณะที่มีการควบคุม สิ่งเจือปนเหล่านี้เรียกว่าสารเจือปน เปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางไฟฟ้าของเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้สามารถผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ประเภทต่างๆ ได้ กระบวนการแพร่กระจายที่มีการควบคุมนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตทรานซิสเตอร์ ไดโอด และวงจรรวม

เตาแพร่กระจายประกอบด้วยส่วนประกอบสำคัญหลายประการ รวมถึงท่อกระบวนการ องค์ประกอบความร้อน กลไกการรับอากาศ และระบบควบคุม ท่อกระบวนการทำหน้าที่เป็นห้องที่วางเวเฟอร์ สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานนี้

องค์ประกอบความร้อนให้ความร้อนที่จำเป็นเพื่อเพิ่มอุณหภูมิเตาเผาให้อยู่ในระดับที่ต้องการ อุณหภูมิในเตาแพร่โดยทั่วไปจะสูงถึง 1200°C เพื่อให้มั่นใจว่ามีการทำความร้อนสม่ำเสมอ องค์ประกอบความร้อนมักจะถูกจัดเรียงเป็นรูปเกลียว

กลไกทางเข้าของก๊าซใช้เพื่อนำก๊าซเจือปนเข้าไปในเตาเผา สารเจือปนทั่วไปได้แก่ โบรอน ฟอสฟอรัส และสารหนู ขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ต้องการของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสุดท้าย ระบบควบคุมจะควบคุมการไหลของก๊าซเจือปน โดยรักษาการควบคุมกระบวนการแพร่กระจายได้อย่างแม่นยำ

เตาแพร่กระจายมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ใช้ในกระบวนการเติมสารกระตุ้นที่สร้างจุดเชื่อมต่อ pn ในทรานซิสเตอร์และไดโอด เตากระจายยังมีบทบาทสำคัญในการประดิษฐ์วงจรรวม โดยที่เซมิคอนดักเตอร์หลายชั้นซ้อนกันและเชื่อมต่อถึงกัน

นอกจากนี้ เตากระจายยังมีความจำเป็นสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เช่น พาวเวอร์ MOSFET (ทรานซิสเตอร์สนามแม่เหล็กของเซมิคอนดักเตอร์เมทัลออกไซด์) และทรานซิสเตอร์ไบโพลาร์เกตแบบหุ้มฉนวน (IGBT) อุปกรณ์เหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในด้านอิเล็กทรอนิกส์กำลังและเทคโนโลยีพลังงานหมุนเวียน ซึ่งเตากระจายเป็นส่วนสำคัญในการผลิต

เตาแพร่กระจายเป็นเครื่องมือสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมการนำสารเจือปนเข้าไปในเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้ เตาเผาเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญของการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และวงจรรวม เมื่อเทคโนโลยีก้าวหน้า ความสามารถของเตากระจายยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง ช่วยให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำและเชื่อถือได้มากขึ้น อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อาศัยเตาเผาเหล่านี้เป็นอย่างมากเพื่อตอบสนองความต้องการอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงที่เพิ่มขึ้น

Semicorex ประดิษฐ์ชิ้นส่วน SiC แบบกำหนดเองสำหรับเตาแพร่กระจาย หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com