วิธีการเติบโตของคริสตัล AlN

AlN เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม ไม่เพียงแต่เป็นวัสดุแสงสีน้ำเงินและแสงอัลตราไวโอเลตที่สำคัญเท่านั้น แต่ยังเป็นบรรจุภัณฑ์ที่สำคัญ การแยกอิเล็กทริก และวัสดุฉนวนสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และวงจรรวม เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ที่มีอุณหภูมิสูงและมีกำลังสูง . นอกจากนี้ AlN และ GaN ยังมีการจับคู่ทางความร้อนที่ดีและความเข้ากันได้ทางเคมี AlN ที่ใช้เป็นซับสเตรต epitaxis ของ GaN สามารถลดความหนาแน่นของข้อบกพร่องในอุปกรณ์ GaN ได้อย่างมาก และปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์

เนื่องจากมีแนวโน้มการใช้งานที่น่าดึงดูด การเตรียมผลึก AlN ขนาดใหญ่คุณภาพสูงจึงได้รับความสนใจอย่างมากจากนักวิจัยทั้งในและต่างประเทศ ปัจจุบัน ผลึก AlN ได้รับการเตรียมโดยวิธีการแก้ปัญหา ไนไตรด์โดยตรงของโลหะอะลูมิเนียม ไฮไดรด์เอพิแทกซีในเฟสก๊าซไฮไดรด์ และการขนส่งเฟสไอทางกายภาพ (PVT) วิธี PVT ได้กลายเป็นเทคโนโลยีกระแสหลักสำหรับการปลูกผลึก AlN โดยมีอัตราการเติบโตสูง (สูงถึง 500-1000 µm/h) และคุณภาพของผลึกสูง (ความหนาแน่นของการเคลื่อนที่ต่ำกว่า 103 cm-2)

การเจริญเติบโตของผลึก AlN โดยวิธี PVT ทำได้โดยการระเหิด การขนส่งเฟสก๊าซ และการตกผลึกใหม่ของผง AlN และอุณหภูมิของสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตจะสูงถึง 2,300 ℃ หลักการพื้นฐานของการปลูกผลึก AlN โดยวิธี PVT นั้นค่อนข้างง่าย ดังที่แสดงในสมการต่อไปนี้:

2AlN ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

ขั้นตอนหลักของกระบวนการเจริญเติบโตมีดังนี้: (1) การระเหิดของผงดิบ AlN; (2) การขนส่งส่วนประกอบที่เป็นก๊าซของวัตถุดิบ (3) การดูดซับส่วนประกอบของเฟสก๊าซบนพื้นผิวการเจริญเติบโต (4) การแพร่กระจายและนิวเคลียสของพื้นผิว และ (5) กระบวนการกำจัดการดูดซึม [10] ภายใต้ความดันบรรยากาศมาตรฐาน ผลึก AlN เริ่มสลายตัวช้าๆ กลายเป็นไอ Al และไนโตรเจนเพียงประมาณ 1,700 ℃ และปฏิกิริยาการสลายตัวของ AlN จะเข้มข้นขึ้นอย่างรวดเร็วเมื่ออุณหภูมิสูงถึง 2,200 ℃

วัสดุ TaC เป็นวัสดุเบ้าหลอมการเติบโตของคริสตัล AlN ที่ใช้งานจริง โดยมีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ดีเยี่ยม การนำความร้อนและไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม ความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมี และความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่ดี ซึ่งสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและอายุการใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ

Semicorex นำเสนอคุณภาพสูงผลิตภัณฑ์เคลือบแทซีด้วยบริการที่กำหนดเอง หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com