2023-11-10
ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ควอตซ์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย และผลิตภัณฑ์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงยังเป็นวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญยิ่งกว่าในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ การผลิตถ้วยใส่ตัวอย่างผลึกเดี่ยวซิลิคอน เรือคริสตัล ท่อแกนเตาหลอม และส่วนประกอบควอตซ์อื่นๆ ต้องใช้ผลิตภัณฑ์แก้วควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ชิ้นส่วนควอตซ์ในสาขาเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งเป็นตลาดเป้าหมายหลักสำหรับการแพร่กระจายและการแกะสลักแผ่นเวเฟอร์สามารถแบ่งออกเป็นสองประเภทของอุปกรณ์โซนอุณหภูมิสูงและอุปกรณ์โซนอุณหภูมิต่ำจะใช้อุปกรณ์หลักดังต่อไปนี้:
1) อุปกรณ์โซนอุณหภูมิสูงส่วนใหญ่เป็นออกซิเดชันการแพร่กระจายและด้านอื่น ๆ ของการใช้หลอดเตา ชั้นวางเรือแก้ว ฯลฯ จะต้องอยู่ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยตรงหรือโดยอ้อมเมื่อสัมผัสกับเวเฟอร์ซิลิคอน ส่วนใหญ่เป็นการจัดหาวัสดุแก้วควอทซ์แบบใช้ไฟฟ้าซึ่งผลิตผ่านกระบวนการทางความร้อน
2) อุปกรณ์โซนอุณหภูมิต่ำส่วนใหญ่จะแกะสลักลิงก์เช่นแหวนควอทซ์ แต่ยังรวมถึงตะกร้ากระบวนการทำความสะอาด ถังทำความสะอาด ฯลฯ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำ ซื้อแก้วควอตซ์กลั่นก๊าซเป็นหลักโดยผ่านการผลิตแบบแปรรูปเย็น
ในหมู่พวกเขา อุปกรณ์โซนอุณหภูมิสูงกินเร็วกว่า แต่ก็คล้ายกับเครื่องหลายชิป (ผู้ถือที่ถือเวเฟอร์มากกว่าหนึ่ง) อุปกรณ์โซนอุณหภูมิต่ำกินช้ากว่า แต่เป็นเสาหิน (ผู้ถือที่ถือเวเฟอร์) ; ดังนั้นขนาดตลาดโดยรวมทั้งสองจึงค่อนข้างใกล้เคียงกัน