ความสำคัญของวัสดุกราไฟท์ที่มีรูพรุนต่อการเติบโตของผลึก SiC

ส่วนประกอบเตาเติบโตคริสตัล SiC ของ Semicorexกระบอกกราไฟท์ที่มีรูพรุนจะนำมาซึ่งประโยชน์หลักสามประการและสามารถเสริมสร้างความสามารถในการแข่งขันของประเทศได้อย่างมีประสิทธิภาพสารตั้งต้น SiC:

• ลดต้นทุนของส่วนประกอบการเติบโตของคริสตัล SiC
• เพิ่มความหนาของคริสตัล SiC และลดต้นทุนโดยรวมของวัสดุพิมพ์
• ปรับปรุงผลผลิตคริสตัล SiC และเพิ่มขีดความสามารถในการแข่งขันขององค์กร

การเพิ่มแผ่นกราไฟท์ที่มีรูพรุนลงในเตาหลอมคริสตัล SiC เป็นหนึ่งในประเด็นร้อนในอุตสาหกรรม ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าโดยการใส่กราไฟท์ที่มีรูพรุนแผ่นที่อยู่เหนือผงแหล่งกำเนิด SiC ทำให้มีการถ่ายโอนมวลที่ดีในพื้นที่คริสตัล ซึ่งสามารถปรับปรุงปัญหาทางเทคนิคต่าง ๆ ที่มีอยู่ในเตาเติบโตคริสตัลแบบดั้งเดิม

(a) เตาเติบโตคริสตัลแบบดั้งเดิม (b) เตาเติบโตคริสตัลที่มีแผ่นกราไฟท์ที่มีรูพรุน

ที่มา: มหาวิทยาลัย Dongui ประเทศเกาหลีใต้

การทดลองแสดงให้เห็นว่าเมื่อใช้เตาเติบโตคริสตัลแบบเดิม สารตั้งต้น SiC มักจะมีหลากหลายโพลีมอร์ฟเช่น 6H และ 15R-SiC ในขณะที่สารตั้งต้น SiCเตรียมโดยใช้เตาเติบโตคริสตัลที่มีรูพรุนตามกราไฟท์เท่านั้นที่มีโมโนคริสตัล 4H-SiC- นอกจากนี้ ความหนาแน่นของไมโครทิวบ์ (MPD) และความหนาแน่นของหลุมกัด (EPD) ก็ลดลงอย่างมีนัยสำคัญเช่นกัน MPD ของเตาเติบโตคริสตัลทั้งสองคือ 6-7EA/cm2 และ 1-2EA/cm2 ตามลำดับ ซึ่งสามารถลดลงถึง 6 เท่า.

Semicorex ยังได้เปิดตัวกระบวนการ "ถ่ายโอนมวลครั้งเดียว" ใหม่โดยยึดตามแผ่นกราไฟท์ที่มีรูพรุน- กราไฟท์ที่มีรูพรุนมีดีมากความสามารถในการทำให้บริสุทธิ์- กระบวนการใหม่นี้ใช้สนามความร้อนใหม่สำหรับการถ่ายโอนมวลปฐมภูมิ ซึ่งทำให้ประสิทธิภาพการถ่ายโอนมวลดีขึ้นและคงที่โดยทั่วไป ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบของการตกผลึกซ้ำ (หลีกเลี่ยงการถ่ายโอนมวลทุติยภูมิ) ช่วยลดความเสี่ยงของ microtubules หรือข้อบกพร่องของคริสตัลอื่น ๆ ที่เกี่ยวข้องได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ กราไฟท์ที่มีรูพรุนยังเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีหลักในการแก้ปัญหาการเติบโตและความหนาของผลึก SiC เนื่องจากสามารถสร้างสมดุลให้กับส่วนประกอบในเฟสก๊าซ แยกสิ่งเจือปนเล็กน้อย ปรับอุณหภูมิในพื้นที่ และลดอนุภาคทางกายภาพ เช่น การพันตัวของคาร์บอน บนสมมติฐานที่ว่าคริสตัลสามารถใช้ได้ความหนาของคริสตัลสามารถลดลงได้ สามารถเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญ

คุณสมบัติทางเทคนิคของกราไฟท์มีรูพรุน Semicorex:

ความพรุนสามารถเข้าถึงได้มากถึง 65%;

รูขุมขนมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอ

ความเสถียรของแบทช์สูง

มีความแข็งแรงสูง สามารถเข้าถึงรูปทรงกระบอกบางเฉียบ ≤1 มม.

Semicorex นำเสนอคุณภาพสูงกราไฟท์ที่มีรูพรุนชิ้นส่วน หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com