เรือ SiC คืออะไร และกระบวนการผลิตต่างๆ มีอะไรบ้าง

1. กระบวนการผลิตที่แตกต่างกันของเรือซีซี

(1) การเคลือบชั้นของฟิล์มซีซีบนพื้นผิวของกราไฟท์เรือคริสตัลผ่านทางซีวีดี

เรือประเภทนี้มีแกนกราไฟท์ซึ่งกลึงเป็นชิ้นเดียว อย่างไรก็ตาม,กราไฟท์มีรูพรุนและมีแนวโน้มที่จะเกิดอนุภาค ทำให้จำเป็นต้องใช้ aการเคลือบฟิล์ม SiCบนพื้นผิวของมัน เนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ที่ไม่ตรงกันระหว่างตัวกราไฟท์กับฟิล์มซีซีการเคลือบมีแนวโน้มที่จะลอกออกหลังจากรอบการให้ความร้อนและความเย็นหลายครั้ง ซึ่งนำไปสู่การปนเปื้อนของอนุภาค เรือเหล่านี้มีราคาถูกที่สุดและมีอายุการใช้งานประมาณหนึ่งปี

(2) การเคลือบชั้นของฟิล์มซีซีเมื่อตกผลึกใหม่เรือคริสตัล SiC

ตกผลึกใหม่เรือซีซีมีรูพรุนและสามารถสร้างอนุภาคได้ง่าย ดังนั้นแต่ละองค์ประกอบของการตกผลึกใหม่เรือซีซีต้องขึ้นรูปล่วงหน้า เผาผนึก จากนั้นจึงแยกเครื่องจักร หลังจากนั้นส่วนประกอบจะถูกเชื่อมเข้าด้วยกันที่อุณหภูมิสูงโดยใช้ Si paste เมื่อประกอบเป็นเรือลำเดียวแล้วฟิล์มซีซีถูกนำไปใช้ผ่าน CVD การตกผลึกครั้งนี้เรือซีซีมีกระบวนการผลิตที่ยาวนานที่สุดและมีราคาแพงแต่ผิวหน้าการเคลือบซีวีดีอาจเสียหายได้โดยมีอายุการใช้งานประมาณสามปี

(3)เสาหินเรือคริสตัล SiC

เหล่านี้เรือประกอบด้วยวัสดุ SiC ทั้งหมด ผง SiC ต้องได้รับการขึ้นรูปและเผาให้เป็นรูปร่างของเรือเสาหิน มีราคาแพงมาก มีความทนทานมากและมีโอกาสสร้างอนุภาคน้อย อย่างไรก็ตาม เรือเหล่านี้มีซิลิคอนอิสระ 10-15% ซึ่งไวต่อการกัดเซาะโดยฟลูออรีนและคลอรีน ซึ่งนำไปสู่การปนเปื้อนของอนุภาค

2. เหตุใดจึงไม่แนะนำให้ซักแห้ง?

โดยสรุปสำหรับเรือซีซีเคลือบด้วยกฟิล์ม SiC ผ่าน CVDการเคลือบพื้นผิวมีแนวโน้มที่จะลอกออกในระหว่างการซักแห้งซึ่งทำให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค สำหรับเสาหินเรือซีซีที่มีซิลิคอนอิสระจำนวนเล็กน้อย การสัมผัสกับก๊าซที่มีฟลูออรีนหรือคลอรีนสามารถนำไปสู่การกัดเซาะและการเกิดอนุภาค จึงทำให้เกิดการปนเปื้อน-