เทคโนโลยี Epitaxy เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ซิลิคอนคาร์ไบด์โดยทั่วไปใช้วิธีการ PVT โดยมีอุณหภูมิมากกว่า 2,000 องศา รอบการประมวลผลที่ยาวนาน และผลผลิตต่ำ ดังนั้นต้นทุนของพื้นผิวซิลิคอนคาร์ไบด์จึงสูงมาก กระบวนการ epitaxis ของซิลิคอนคาร์ไบด์โดยพื้นฐานแล้วเหมือนกับของซิลิคอน ยกเว้นการออกแบบอุณหภูมิและการออกแบบโครงสร้างของอุปกรณ์ ในด้านการเตรียมอุปกรณ์ เนื่องจากวัสดุมีลักษณะเฉพาะ กระบวนการของอุปกรณ์จึงแตกต่างจากซิลิคอนตรงที่ใช้กระบวนการที่อุณหภูมิสูง ได้แก่ การฝังไอออนที่อุณหภูมิสูง ออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง และกระบวนการหลอมที่อุณหภูมิสูง

หากคุณต้องการเพิ่มคุณลักษณะของซิลิคอนคาร์ไบด์วิธีแก้ปัญหาที่เหมาะสมที่สุดก็คือการขยายชั้นเอปิเทกเซียลบนพื้นผิวที่เป็นผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ เวเฟอร์อีพิเทกเซียลของซิลิคอนคาร์ไบด์หมายถึงเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ซึ่งมีฟิล์มบางผลึกเดี่ยว (ชั้นอีปิแอกเซียล) ที่มีข้อกำหนดบางประการและมีคริสตัลแบบเดียวกับซับสเตรตถูกปลูกไว้บนซับสเตรตของซิลิคอนคาร์ไบด์

มีสี่บริษัทใหญ่ในตลาดสำหรับอุปกรณ์หลักของวัสดุเยื่อบุผิวซิลิคอนคาร์ไบด์:

[1]เอิกซ์ตรอนในเยอรมนี: โดดเด่นด้วยกำลังการผลิตที่ค่อนข้างใหญ่

[2]แอลพีอีในอิตาลีซึ่งเป็นไมโครคอมพิวเตอร์แบบชิปตัวเดียวที่มีอัตราการเติบโตสูงมาก

[3]โทรและนูแฟลร์ในญี่ปุ่นซึ่งมีอุปกรณ์มีราคาแพงมาก และประการที่สองคือ dual-cavity ซึ่งมีผลกระทบต่อการเพิ่มการผลิต หนึ่งในนั้นคือ Nuflare เป็นอุปกรณ์ที่โดดเด่นมากซึ่งเปิดตัวในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา สามารถหมุนด้วยความเร็วสูงถึง 1,000 รอบต่อนาที ซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากต่อความสม่ำเสมอของ epitaxy ในขณะเดียวกัน ทิศทางการไหลของอากาศก็แตกต่างจากอุปกรณ์อื่นๆ ซึ่งอยู่ในแนวตั้งลงด้านล่าง จึงสามารถหลีกเลี่ยงการเกิดอนุภาคบางส่วนและลดโอกาสที่จะหยดลงบนแผ่นเวเฟอร์

จากมุมมองของชั้นการใช้งานเทอร์มินัล วัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์มีการใช้งานที่หลากหลายในรถไฟความเร็วสูง อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ในยานยนต์ สมาร์ทกริด อินเวอร์เตอร์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ระบบเครื่องกลไฟฟ้าทางอุตสาหกรรม ศูนย์ข้อมูล สินค้าสีขาว เครื่องใช้ไฟฟ้า การสื่อสาร 5G ถัดไป- การแสดงรุ่นและสาขาอื่น ๆ และศักยภาพของตลาดมีขนาดใหญ่มาก

Semicorex นำเสนอคุณภาพสูงชิ้นส่วนเคลือบ CVD SiCสำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว SiC หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com