การขัดพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอน

เวเฟอร์ซิลิคอนการขัดพื้นผิวเป็นกระบวนการสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เป้าหมายหลักคือการบรรลุมาตรฐานที่สูงมากในด้านความเรียบและความหยาบของพื้นผิว โดยการกำจัดข้อบกพร่องเล็กๆ ชั้นของความเสียหายจากความเครียด และการปนเปื้อนจากสิ่งสกปรก เช่น ไอออนของโลหะ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ซิลิคอนเป็นไปตามข้อกำหนดการเตรียมการสำหรับอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงวงจรรวม (IC)

เพื่อรับประกันความแม่นยำในการขัดเงาเวเฟอร์ซิลิคอนกระบวนการขัดเงาสามารถแบ่งได้เป็นสอง สาม หรือสี่ขั้นตอนที่แตกต่างกัน แต่ละขั้นตอนใช้เงื่อนไขการประมวลผลที่แตกต่างกัน รวมถึงความดัน องค์ประกอบของของเหลวขัด ขนาดอนุภาค ความเข้มข้น ค่า pH วัสดุผ้าขัด โครงสร้าง ความแข็ง อุณหภูมิ และปริมาณการประมวลผล

ขั้นตอนทั่วไปของเวเฟอร์ซิลิคอนการขัดเงามีดังนี้:

1. **การขัดหยาบ**: ขั้นตอนนี้มีจุดมุ่งหมายเพื่อขจัดชั้นความเสียหายจากความเค้นเชิงกลที่เหลืออยู่บนพื้นผิวออกจากการประมวลผลก่อนหน้า เพื่อให้บรรลุความแม่นยำของมิติทางเรขาคณิตที่ต้องการ ปริมาณการประมวลผลสำหรับการขัดหยาบโดยทั่วไปจะเกิน 15–20μm

2. **การขัดแบบละเอียด**: ในขั้นตอนนี้ ความเรียบและความหยาบเฉพาะจุดของพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนจะลดลงอีกเพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวมีคุณภาพสูง ปริมาณการประมวลผลสำหรับการขัดเงาแบบละเอียดอยู่ที่ประมาณ 5–8μm

3. **"การไล่ฝ้า" การขัดแบบละเอียด**: ขั้นตอนนี้มุ่งเน้นไปที่การกำจัดข้อบกพร่องเล็กๆ น้อยๆ ของพื้นผิว และปรับปรุงคุณลักษณะทางสัณฐานวิทยาระดับนาโนของแผ่นเวเฟอร์ ปริมาณวัสดุที่ถูกดึงออกในระหว่างกระบวนการนี้คือประมาณ 1μm

4. **การขัดขั้นสุดท้าย**: สำหรับกระบวนการชิป IC ที่มีข้อกำหนดด้านความกว้างของเส้นที่เข้มงวดมาก (เช่น ชิปที่มีขนาดเล็กกว่า 0.13μm หรือ 28 นาโนเมตร) ขั้นตอนการขัดขั้นสุดท้ายถือเป็นสิ่งสำคัญหลังจากการขัดแบบละเอียดและการขัดแบบละเอียด "ละลายฝ้า" สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนจะมีความแม่นยำในการตัดเฉือนที่ยอดเยี่ยมและมีลักษณะพื้นผิวระดับนาโน

สิ่งสำคัญคือต้องสังเกตว่าการขัดเงาด้วยเคมีเชิงกล (CMP) ของเวเฟอร์ซิลิคอนพื้นผิวแตกต่างจากเทคโนโลยี CMP ที่ใช้ในการทำให้พื้นผิวเวเฟอร์เรียบในการเตรียม IC แม้ว่าทั้งสองวิธีเกี่ยวข้องกับการขัดเงาด้วยสารเคมีและเชิงกลร่วมกัน แต่เงื่อนไข วัตถุประสงค์ และการใช้งานจะแตกต่างกันอย่างมาก

ข้อเสนอของ Semicorexเวเฟอร์คุณภาพสูง- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com