ตัวรับกราไฟต์เป็นหนึ่งในส่วนสำคัญในอุปกรณ์ MOCVD เป็นตัวพาและตัวทำความร้อนของพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ คุณสมบัติของเสถียรภาพทางความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนมีบทบาทชี้ขาดในคุณภาพของการเจริญของ epitaxial เวเฟอร์ ซึ่งจะกำหนดความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์ของวัสดุชั้นโดยตรง ส่งผลให้คุณภาพของมันส่งผลโดยตรงต่อ......
อ่านเพิ่มเติมในด้านไฟฟ้าแรงสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูงที่สูงกว่า 20,000V เทคโนโลยี SiC epitaxial ยังคงเผชิญกับความท้าทายหลายประการ ปัญหาหลักประการหนึ่งคือการบรรลุความสม่ำเสมอสูง ความหนา และความเข้มข้นของสารกระตุ้นในชั้น epitaxial สำหรับการประดิษฐ์อุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูงนั้น จำเป็นต้องใช้เวเฟอร์ epit......
อ่านเพิ่มเติม