เครื่องทำความร้อน Aln คืออะไร

เครื่องทำความร้อนเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์ (ALN)สำหรับเซมิคอนดักเตอร์เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการให้ความร้อนกับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนใหญ่ทำจากอลูมิเนียมไนไตรด์วัสดุเซรามิกมีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิสูงและสามารถทำงานได้อย่างเสถียรที่อุณหภูมิสูง เครื่องทำความร้อน ALN มักจะใช้สายความต้านทานเป็นองค์ประกอบความร้อน ด้วยการเพิ่มพลังให้กับสายความต้านทานที่จะทำให้ความร้อนสูงขึ้นความร้อนจะถูกถ่ายโอนไปยังพื้นผิวของเครื่องทำความร้อนเพื่อให้ความร้อนกับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำความร้อน ALN สำหรับเซมิคอนดักเตอร์มีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสามารถใช้ในกระบวนการต่าง ๆ เช่นการเจริญเติบโตของคริสตัลการหลอมและการอบ ตลาดเครื่องทำความร้อน ALN ทั่วโลกสำหรับเซมิคอนดักเตอร์สูงถึง 535.05 ล้านดอลลาร์สหรัฐในปี 2565 เพิ่มขึ้น 7.13%เมื่อเทียบเป็นรายปี คาดว่าขนาดของตลาดจะสูงถึง 848.21 ล้านเหรียญสหรัฐในปี 2572 โดยมีอัตราการเติบโตของสารประกอบ (CAGR) 6.72% จากปี 2566 ถึง 2029

ปัญหาทางเทคนิคในการประมวลผลเครื่องทำความร้อน Aln

1. ในระหว่างการประมวลผลเครื่องทำความร้อน ALN มันเป็นเรื่องง่ายที่จะพังและล่มสลายเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของความเครียดภายในของวัสดุซึ่งส่งผลต่ออัตราที่ผ่านการรับรองของผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป การผลิตวัสดุเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์นั้นไม่ใช่เรื่องง่ายและอัตราการให้ผลผลิตต่ำของเครื่องทำความร้อน ALN ก็เป็นหนึ่งในเหตุผลสำคัญสำหรับราคาอลูมิเนียมไนไตรด์เซรามิกราคาสูง

2. ปัญหาของวัสดุเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์เอง เนื่องจากในอุตสาหกรรมการผลิตวัสดุเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์โครงสร้างของวัสดุจะเปลี่ยนไปตามอุณหภูมิและสภาพแวดล้อมที่แตกต่างกัน การผลิตวัสดุเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์นั้นเป็นงานที่ค่อนข้างยาก คุณภาพของวัสดุที่มีคุณภาพต่ำก็เป็นเหตุผลสำคัญสำหรับอัตราฮีตเตอร์ ALN ที่มีคุณสมบัติต่ำ

ปัจจัยที่มีผลต่อการนำความร้อน

ปัจจัยหลักที่มีผลต่อการนำความร้อนของอลูมิเนียมไนไตรด์เซรามิกคือความหนาแน่นของตาข่ายปริมาณออกซิเจนความบริสุทธิ์ของผงโครงสร้างจุลภาค ฯลฯ ซึ่งจะส่งผลกระทบต่อการนำความร้อนของเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์

ความหนาแน่นของตาข่าย

ตามค่าการนำความร้อนของวัสดุเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์การปรากฏตัวของรูขุมขนจำนวนมากในตัวอย่างที่มีความหนาแน่นต่ำจะส่งผลกระทบต่อการกระเจิงของ phonons ลดเส้นทางอิสระเฉลี่ยของพวกเขา ในเวลาเดียวกันคุณสมบัติเชิงกลของตัวอย่างที่มีความหนาแน่นต่ำอาจไม่เป็นไปตามข้อกำหนดของแอปพลิเคชันที่เกี่ยวข้อง ดังนั้นความหนาแน่นสูงจึงเป็นข้อกำหนดเบื้องต้นสำหรับเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์ที่จะมีค่าการนำความร้อนสูง

ปริมาณออกซิเจนและสิ่งสกปรก

สำหรับเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์เนื่องจากความสัมพันธ์ที่แข็งแกร่งของออกซิเจนความดีของออกซิเจนนั้นง่ายต่อการกระจายเข้าไปในตาข่าย ALN ในระหว่างกระบวนการเผาซึ่งเกี่ยวข้องโดยตรงกับข้อบกพร่องที่หลากหลายและเป็นแหล่งหลักของอิทธิพลต่อการนำความร้อน ในการกระเจิงของ phonons-defects บทบาทหลักคือการเล่นโดยการปรากฏตัวของออกซิเจนเจือปนและอลูมิเนียมออกไซด์ เนื่องจากอลูมิเนียมไนไตรด์นั้นง่ายต่อการไฮโดรไลซ์และออกซิไดซ์ชั้นของฟิล์มอลูมิเนียมออกไซด์จึงเกิดขึ้นบนพื้นผิวและอลูมิเนียมออกไซด์จะละลายลงในอะลูมิเนียมไนไตรด์เพื่อผลิตตำแหน่งอลูมิเนียม

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com