ชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์

ชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์เป็นของเซรามิกขั้นสูงและเป็นส่วนที่ขาดไม่ได้ของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ วัตถุดิบสำหรับการเตรียมมักจะมีความบริสุทธิ์สูงวัสดุอนินทรีย์ที่มีขนาดใหญ่เป็นพิเศษเช่นอลูมิเนียมออกไซด์, ซิลิกอนคาร์ไบด์, อลูมิเนียมไนไตรด์, ซิลิคอนไนไตรด์, yttrium ออกไซด์, เซอร์โคเนียมออกไซด์ ฯลฯ ฯลฯ

อลูมิเนียมออกไซด์

มีการใช้กันอย่างแพร่หลายและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์จะแตกต่างกันไปตามความบริสุทธิ์ ความบริสุทธิ์ 95% เป็นสีเหลืองอ่อนและความบริสุทธิ์ 99% เป็นหิมะขาว มันมีความแข็งแกร่งความแข็งแรงความต้านทานการสึกหรอความต้านทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนและสามารถใช้ในการเตรียมชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่เช่นหัวฉีดเซรามิกแขนเซรามิก ฯลฯ

ซิลิกอนคาร์ไบด์

มันเป็นสีดำมีค่าการนำความร้อนสูงความแข็งแรงและความแข็งน้ำหนักเบาความต้านทานการกระแทกที่ดีและมักใช้ในการเตรียมแขนสูญญากาศและถ้วยดูดสูญญากาศ

อลูมิเนียมไนไตรด์

มันมีค่าการนำความร้อนสูงสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ตรงกับซิลิกอนค่าคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำและการสูญเสียอิเล็กทริกและสามารถใช้ในการทำให้พื้นผิวการกระจายความร้อนหัวฉีดเซรามิก ฯลฯ

ซิลิกอนไนไตรด์

จุดหลอมเหลวสูงความแข็งสูงเป็นพิเศษความเฉื่อยของสารเคมีสูงสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำค่าการนำความร้อนสูงความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนที่ดีความต้านทานแรงกระแทกสูงและความแข็งแรงต่ำกว่า 1,200 ℃มักใช้ทำพื้นผิวเซรามิกท่อเซรามิก ฯลฯ

Yttrium ออกไซด์

จุดหลอมเหลวสูงความเสถียรทางเคมีและโฟโตเคมีที่ดีการนำความร้อนสูงการส่งผ่านแสงที่ดีมักจะรวมกับอลูมินาเพื่อทำหน้าต่างเซรามิก

เซอร์โคเนียมออกไซด์

ความแข็งแรงเชิงกลสูงความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานกรดและอัลคาไลฉนวนกันความร้อนที่ดีตามเนื้อหาที่แตกต่างกันสามารถทำจากผลิตภัณฑ์เซรามิกเพื่อวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันเช่นพื้นผิววงจรรวม ฯลฯ

ประเภทของชิ้นส่วน:

ชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ "ทั้งหมด" ที่มีฟังก์ชั่นต่างกันมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์คีย์เซมิคอนดักเตอร์ประเภทต่างๆส่วนใหญ่รวมถึงสิ่งต่อไปนี้:

เซมิคอนดักเตอร์แขนเซรามิก

มีบทบาทในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เมื่อขนส่งเวเฟอร์และจำเป็นต้องทำงานในสภาพแวดล้อมที่สะอาดสุญญากาศ มักจะเตรียมด้วยอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือซิลิกอนคาร์ไบด์อลูมินามีประสิทธิภาพและใช้มากขึ้น

สารตั้งต้นเซรามิก

นำไปใช้ในเขตบรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ที่แตกต่างกันเช่นอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์พลังงานเลเซอร์ ฯลฯ และมักจะเตรียมด้วยวัสดุเช่นอลูมินาและซิลิกอนไนไตรด์

หัวฉีดเซรามิก

ใน HDP-CVD คุณภาพของมันมีผลต่อความบริสุทธิ์และอัตราการไหลของก๊าซปฏิกิริยา เซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์เหมาะสำหรับอุปกรณ์กระบวนการขั้นสูงเนื่องจากประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม

หน้าต่างเซรามิก

มันเป็นองค์ประกอบสำคัญของ etcher เซมิคอนดักเตอร์ มันสามารถปิดผนึกสูญญากาศโดยไม่ส่งผลกระทบต่อการแทรกซึมของพลาสมา มันมักจะทำจากอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงและ yttrium ออกไซด์

ฝาปิดห้องเซรามิก

มันเป็นองค์ประกอบสำคัญของอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางซึ่งเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพของเวเฟอร์และการปิดผนึกของห้องปฏิกิริยา

ชัคสูญญากาศเซรามิก

มันถูกใช้เพื่อวางตำแหน่งและหนีบเวเฟอร์ซิลิคอน มันเป็นเซรามิกที่มีรูพรุนทำจากวัสดุเซรามิกสองชนิด

กระบวนการเตรียมการ:

กระบวนการเตรียมการของชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ "งานฝีมือ" นั้นมีความซับซ้อนส่วนใหญ่รวมถึงขั้นตอนต่อไปนี้:

การเตรียมแป้ง

วัตถุดิบจำเป็นต้องได้รับการประเมินใหม่และผงดิบที่ตรงตามข้อกำหนดนั้นได้มาจากการแบตช์การกัดลูกเชิงกลการอบแห้งสเปรย์และกระบวนการอื่น ๆ

การปั้นแบบผง

การกดแบบแห้ง, การกดแบบ isostatic, การหล่อเทป, การปั้นการฉีด, การฉีดแบบฉีดเจลและวิธีการอื่น ๆ มักใช้เพื่อทำให้ผงกลายเป็นร่างกายสีเขียวเซรามิก

การเผาอุณหภูมิสูง

ร่างกายสีเขียวเซรามิกถูกเปลี่ยนเป็นร่างกายที่ปรุงสุกหนาแน่นผ่านการเผาแรงดันปกติการเผาสูญญากาศการเผาบรรยากาศและวิธีการอื่น ๆ

การตัดเฉือนที่แม่นยำ

ร่างกายที่ปรุงด้วยเซรามิกที่ถูกเผาจะถูกประมวลผลด้วยเครื่องกลึงซีเอ็นซีเครื่องบด ฯลฯ เพื่อให้ได้ขนาดและความแม่นยำที่ต้องการ

การตรวจสอบคุณภาพ

มีการทดสอบลักษณะขนาด, ความพรุน, ความหยาบและคุณสมบัติอื่น ๆ ของชิ้นส่วนเซรามิกได้รับการทดสอบเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพของผลิตภัณฑ์

การรักษาพื้นผิว

พื้นผิวของผลิตภัณฑ์ที่ผ่านการตรวจสอบคุณภาพได้รับการทำความสะอาดและการรักษาพื้นผิวเพิ่มเติมเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับความต้องการพิเศษเช่นการพ่นอาร์คการพ่นพลาสม่า ฯลฯ ฯลฯ

Semicorex มีคุณภาพสูงชิ้นส่วนเซรามิกในเซมิคอนดักเตอร์ หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com