หัวฝักบัวเซมิคอนดักเตอร์

ที่แผ่นกระจายก๊าซมักเรียกกันว่า "หัวฝักบัว" อาจคล้ายกับหัวฝักบัวธรรมดา แต่ราคาของมันสามารถเข้าถึงได้หลายแสนคนสูงกว่าห้องน้ำห้องน้ำทั่วไปอย่างมีนัยสำคัญ

พื้นผิวของแผ่นกระจายก๊าซมีรูเล็ก ๆ หลายร้อยหรือหลายพันรูที่จัดเรียงอย่างแม่นยำคล้ายกับเครือข่ายประสาททออย่างประณีต การออกแบบนี้ช่วยให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซและมุมการฉีดได้อย่างแม่นยำเพื่อให้มั่นใจว่าทุกส่วนของพื้นที่การประมวลผลเวเฟอร์นั้น "อาบน้ำ" อย่างสม่ำเสมอในกระบวนการก๊าซ สิ่งนี้ไม่เพียง แต่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต แต่ยังช่วยเพิ่มคุณภาพของผลิตภัณฑ์

แผ่นกระจายก๊าซเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการสำคัญเช่นการทำความสะอาดการแกะสลักและการสะสม มันมีผลโดยตรงต่อความถูกต้องของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และคุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายทำให้เป็นองค์ประกอบที่สำคัญในการใช้งานการกระจายก๊าซต่างๆ

ในระหว่างกระบวนการทำปฏิกิริยาเวเฟอร์พื้นผิวของหัวฝักบัวถูกปกคลุมด้วย micropores หนาแน่น (รูรับแสง 0.2-6 มม.) ผ่านโครงสร้างช่องทางที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำและเส้นทางก๊าซก๊าซกระบวนการพิเศษจำเป็นต้องผ่านรูเล็ก ๆ หลายพันรูบนแผ่นก๊าซที่สม่ำเสมอแล้ววางไว้อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์ เลเยอร์ภาพยนตร์ในพื้นที่ต่าง ๆ ของเวเฟอร์จำเป็นต้องให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและความสม่ำเสมอสูง ดังนั้นนอกเหนือจากข้อกำหนดที่สูงมากสำหรับความสะอาดและความต้านทานการกัดกร่อนแผ่นกระจายก๊าซมีข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับความสอดคล้องของรูรับแสงของรูเล็ก ๆ บนแผ่นกระจายก๊าซและเสี้ยนบนผนังด้านในของรูเล็ก ๆ หากความทนทานต่อขนาดรูรับแสงและค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานความสอดคล้องมีขนาดใหญ่เกินไปหรือมีเสี้ยนอยู่บนผนังด้านในความหนาของชั้นฟิล์มที่สะสมจะแตกต่างกันซึ่งจะส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของอุปกรณ์

วัสดุของแผ่นกระจายก๊าซบางครั้งเป็นวัสดุที่เปราะบาง (เช่นซิลิกอนคริสตัลเดี่ยว, แก้วควอตซ์, เซรามิกส์) ซึ่งง่ายต่อการแตกภายใต้การกระทำของแรงภายนอก นอกจากนี้ยังเป็นหลุมลึกพิเศษภายใน 50 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางของ micropore และสถานการณ์การตัดไม่สามารถสังเกตได้โดยตรง นอกจากนี้ความร้อนแบบตัดไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะส่งและการกำจัดชิปเป็นเรื่องยากและบิตสว่านจะแตกง่ายเนื่องจากการอุดตันของชิป ดังนั้นการประมวลผลและการเตรียมการของมันจึงเป็นเรื่องยากมาก

นอกจากนี้ในกระบวนการช่วยพลาสมา (เช่น PECVD และการแกะสลักแบบแห้ง), หัวฝักบัวซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของอิเล็กโทรดก็จำเป็นต้องสร้างสนามไฟฟ้าสม่ำเสมอผ่านแหล่งจ่ายไฟ RF เพื่อส่งเสริมการกระจายพลาสมาสม่ำเสมอ

เนื่องจากก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อาจมีอุณหภูมิสูงแรงดันสูงหรือการกัดกร่อนจึงมักจะทำจากวัสดุที่ทนต่อการกัดกร่อน ในการผลิตจริงเนื่องจากสถานการณ์การใช้งานที่แตกต่างกันและความแม่นยำที่ต้องการจริงแผ่นกระจายก๊าซสามารถแบ่งออกเป็นสองประเภทต่อไปนี้ตามองค์ประกอบของวัสดุ:

(1) แผ่นกระจายก๊าซโลหะ

วัสดุของแผ่นกระจายก๊าซโลหะ ได้แก่ อัลลอยอลูมิเนียมสแตนเลสและโลหะนิกเกิลซึ่งวัสดุแผ่นกระจายก๊าซโลหะที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดคือโลหะผสมอลูมิเนียมเพราะมีการนำความร้อนที่ดีและความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง มีให้บริการอย่างกว้างขวางและง่ายต่อการประมวลผล

(2) แผ่นกระจายก๊าซที่ไม่ใช่โลหะ

วัสดุของแผ่นกระจายก๊าซที่ไม่ใช่โลหะรวมถึงซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวแก้วควอตซ์และวัสดุเซรามิก ในหมู่พวกเขาวัสดุเซรามิกที่ใช้กันทั่วไปคือ CVD-SIC, เซรามิกอลูมินา, เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์ ฯลฯ ฯลฯ

Semicorex มีคุณภาพสูงcvd sic showerheadsในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมโปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ติดต่อโทรศัพท์ # +86-13567891907

อีเมล: sales@semicorex.com