ซ.ย.คืออะไร

ซิลิกอนบนฉนวน (SOI) ได้รับการยอมรับว่าเป็นหนึ่งในโซลูชั่นสำหรับการแทนที่วัสดุโมโนคริสตัลไลน์ซิลิกอนที่มีอยู่ในยุคนาโนเทคโนโลยี และเป็นเครื่องมือหลักในการรักษาแนวโน้มกฎของมัวร์ ซิลิคอน-ออน-อินซูเลเตอร์ ซึ่งเป็นเทคโนโลยีซับสเตรตที่แทนที่ซิลิกอนซับสเตรตจำนวนมากด้วยพื้นผิว "วิศวกรรม" ถูกนำมาใช้มากว่า 30 ปีในการใช้งานเฉพาะทาง เช่น ระบบอิเล็กทรอนิกส์ทางทหารและอวกาศ ซึ่ง SOI มีข้อได้เปรียบที่ไม่เหมือนใครเนื่องจากความยอดเยี่ยม ความต้านทานต่อรังสีและคุณสมบัติความเร็วสูง

วัสดุ SOI เป็นรากฐานสำหรับการพัฒนาเทคโนโลยี SOI และการพัฒนาเทคโนโลยี SOI ขึ้นอยู่กับความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของวัสดุ SOI การขาดแคลนวัสดุ SOI คุณภาพสูงที่มีต้นทุนต่ำเป็นข้อจำกัดหลักสำหรับเทคโนโลยี SOI ในการเข้าสู่การผลิตระดับอุตสาหกรรมขนาดใหญ่ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ด้วยเทคโนโลยีการเตรียมวัสดุ SOI ที่ครบกำหนด ปัญหาวัสดุที่จำกัดการพัฒนาเทคโนโลยี SOI กำลังค่อยๆ ได้รับการแก้ไข ซึ่งท้ายที่สุดแล้วรวมถึงเทคโนโลยีการเตรียมวัสดุ SOI สองประเภท ได้แก่ การฝัง Speration-by-oxygen (SIMOX) และเทคโนโลยีการติดยึด เทคโนโลยีการติดพันธะประกอบด้วยเทคโนโลยี Bond and Etch back แบบดั้งเดิม (BESOI) และเทคโนโลยี Smart-cut ที่ผสมผสานการฉีดไฮโดรเจนไอออนและการประสานที่นำเสนอโดย M. Bruel หนึ่งในผู้ก่อตั้ง SOITEC ในฝรั่งเศส เช่นเดียวกับการเตรียมวัสดุ Simbond SOI ที่รวมเข้าด้วยกัน การแยกออกซิเจนและพันธะที่เสนอโดย Dr. Meng Chen ในปี 2548 เทคโนโลยีใหม่นี้ผสมผสานการแยกออกซิเจนและพันธะเข้าด้วยกัน