รู้จัก Cantilever Paddle

ในระหว่างการประมวลผล โดยปกติเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะต้องถูกทำให้ร้อนในเตาเผาพิเศษ โดยทั่วไปแล้วเตาเผาดังกล่าวประกอบด้วยท่อทรงกระบอกยาวและบาง เวเฟอร์วางอยู่ในเตาเผาและเครื่องปฏิกรณ์ในลักษณะที่จัดเรียงตามระนาบที่กำหนดโดยหน้าตัดวงกลมของเตาเผาหรือเครื่องปฏิกรณ์ และเว้นระยะห่างตามที่กำหนดไว้ล่วงหน้า โดยปกติจะเว้นระยะเท่าๆ กัน โดยชี้ไปตามแกนกลางของ เตาหรือเครื่องปฏิกรณ์ เพื่อให้บรรลุตำแหน่งนี้ โดยทั่วไปแล้วเวเฟอร์จะวางบนตัวยึดแบบเจาะรูที่เรียกว่าเรือเวเฟอร์ ซึ่งวางเวเฟอร์ในการกำหนดค่าแบบเว้นระยะตามแนวแกนกลาง

เรือลำเล็กที่บรรจุแผ่นเวเฟอร์ที่จะแปรรูปจะถูกวางไว้บนไม้พายยาวที่สามารถใส่และถอนเตาหลอมแบบท่อและเครื่องปฏิกรณ์ได้ ไม้พายดังกล่าวโดยทั่วไปประกอบด้วยส่วนบรรทุกแบบแบนที่สามารถวางเรือขนาดเล็กได้ตั้งแต่หนึ่งลำขึ้นไป และด้ามยาวซึ่งอยู่ที่ปลายด้านหนึ่งของส่วนบรรทุกแบบแบน ซึ่งใช้พายได้ โดยปกติแล้วส่วนการเปลี่ยนแปลงจะเกิดขึ้นระหว่างที่จับและส่วนรองรับเพื่อให้เป็นทั้งหมด นอกจากนี้ด้ามจับต้องยื่นออกมาจากเตาเผาหรือเครื่องปฏิกรณ์เพื่อให้สามารถจัดการและเรือเวเฟอร์ได้

การวางตำแหน่งของเรือเวเฟอร์ภายในเตาเผาหรือเครื่องปฏิกรณ์มีความสำคัญเนื่องจากเป็นที่พึงปรารถนาที่จะวางศูนย์กลางของเวเฟอร์แต่ละอันให้ใกล้กับแกนกลางของเตาเผาหรือเครื่องปฏิกรณ์มากที่สุด เพื่อให้ได้สภาวะการประมวลผลที่สม่ำเสมอซึ่งเวเฟอร์อยู่ภายใต้ ดังนั้น การโค้งงอของพายที่เกิดจากน้ำหนักของเรือที่บรรทุกเวเฟอร์จึงต้องได้รับการพิจารณาในการออกแบบพาย โดยเฉพาะอย่างยิ่งเนื่องจากพายรองรับที่ปลายด้านเดียวเท่านั้น นั่นคือ ปลายที่ยื่นออกมาจากห้องเตาเผา นอกจากการพิจารณาการออกแบบไม้พายซึ่งเป็นผลมาจากข้อกำหนดด้านน้ำหนักในการใช้งานแล้ว ยังต้องใช้ชุดแคลมป์ที่ออกแบบมาเพื่อยึดปลายไม้พายให้อยู่ในตำแหน่งอย่างแม่นยำด้วย ที่หนีบเหล่านี้ต้องค่อนข้างแข็งแรงเพื่อให้ไม้พายอยู่ในตำแหน่งที่ต้องการอย่างแม่นยำ ในขณะที่ใช้งานง่าย และลดความเป็นไปได้ที่จะเกิดความเสียหายกับไม้พายระหว่างการหนีบ

ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้ไม้พายที่มีคานยื่นซึ่งสามารถใช้กับโหลดที่หนักกว่าได้ในขณะที่ยังคงเข้ากันได้กับระบบจับยึดที่มีอยู่ นอกจากนี้ยังต้องการไม้พายคานยื่นที่แสดงลักษณะการโก่งตัวที่ยอมรับได้ในช่วงน้ำหนักทั้งหมดที่สามารถใช้ได้

คไม้พายต้านคันโยกแนะนำให้ใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่กับชั้นบางของ CVD SiC ซึ่งมีความบริสุทธิ์สูงและเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับส่วนประกอบในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์

Semicorex สามารถให้คุณภาพสูงไม้พายเท้าแขนและบริการที่กำหนดเองตามแบบและสภาพแวดล้อมการทำงาน