โครงสร้างของหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC)

หนึ่งหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC)เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การกัด การสะสม หรือการขัดเงา ทำงานโดยการสร้างสนามไฟฟ้าสถิตเพื่อดึงดูดและยึดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวของหัวจับอย่างแน่นหนา ให้ความเสถียรและการจัดตำแหน่งที่แม่นยำระหว่างการจัดการแผ่นเวเฟอร์ ESC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อปรับปรุงความแม่นยำของกระบวนการและประสิทธิภาพการจัดการเวเฟอร์

ภาพที่แท้จริงของความธรรมดาหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC)ปรากฏอยู่ในรูป ความแตกต่างหลักระหว่างแบบจำลองอยู่ที่วัสดุชั้นฉนวนบนพื้นผิวของหัวจับไฟฟ้าสถิต ในภาพ สีเข้มหมายถึงอะลูมิเนียมไนไตรด์ ในขณะที่สีขาวหมายถึงอะลูมิเนียมออกไซด์ โครงสร้างของหัวจับไฟฟ้าสถิตประกอบด้วยหลายส่วน:

1. **ชั้นฉนวน**: ชั้นนี้สัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งโดยทั่วไปทำจากอลูมิเนียมไนไตรด์หรือเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ เนื่องจากมีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม ทนต่ออุณหภูมิสูง และมีค่าการนำความร้อนที่ดี

2. **หมุดอีเจ็คเตอร์และรูแก๊ส**: หมุดอีเจ็คเตอร์ได้รับการออกแบบมาเพื่อถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ เมื่อแผ่นเวเฟอร์เข้าไปในห้องแกะสลัก สลักดีดตัวจะลอยขึ้นเพื่อรองรับ และจากนั้นจะลดระดับลงเพื่อวางแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวของหัวจับไฟฟ้าสถิต หมุดอีเจ็คเตอร์มักจะมีโครงสร้างกลวง ทำให้สามารถใส่ก๊าซฮีเลียมเข้าไปเพื่อช่วยระบายความร้อนให้กับแผ่นเวเฟอร์ได้

3. **Back He Flow Channel**: ส่วนประกอบนี้ช่วยเพิ่มการกระจายความร้อนและอำนวยความสะดวกในการดูดซับของแผ่นเวเฟอร์

4. **อิเล็กโทรดไฟฟ้าสถิต**: อิเล็กโทรดนี้สร้างสนามไฟฟ้าที่สร้างแรงไฟฟ้าสถิตที่จำเป็นในการยึดเวเฟอร์ให้อยู่กับที่ โดยปกติแล้ว อิเล็กโทรดจะเป็นระนาบและฝังอยู่ภายในหรือสะสมอยู่บนวัสดุฉนวน วัสดุนำไฟฟ้าที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ อะลูมิเนียม ทองแดง และทังสเตน

5. **น้ำหล่อเย็นหมุนเวียนและอิเล็กโทรดทำความร้อน**: องค์ประกอบเหล่านี้มีหน้าที่หลักในการควบคุมอุณหภูมิโดยรวมของหัวจับไฟฟ้าสถิต อิเล็กโทรดทำความร้อนและน้ำหล่อเย็นหมุนเวียนทำงานควบคู่กันเพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่สำหรับเวเฟอร์ การใช้น้ำหล่อเย็นที่หมุนเวียนเพียงอย่างเดียวอาจทำให้ไม่สามารถจัดการความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการกัด ซึ่งอาจส่งผลต่อความเสถียรของกระบวนการ  

Semicorex นำเสนอคุณภาพสูงหัวจับไฟฟ้าสถิต(ESC)- หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com