เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเกิดออกซิเดชันเกี่ยวข้องกับการวางเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ซึ่งออกซิเจนไหลผ่านพื้นผิวเวเฟอร์เพื่อสร้างชั้นออกไซด์ ซึ่งจะช่วยปกป้องเวเฟอร์จากสารเคมีเจือปน ป้องกันกระแสรั่วไหลเข้าสู่วงจร ป้องกันการแพร่กระจายระหว่างการฝังไอออน และป้องกันการลื่นไถลของเวเฟอร์ในระหว่างการกัด ทำให้เกิดฟิล์มป้องกันบนพื้นผิวเวเฟอร์ อุปกรณ์ที่ใช้ในขั้นตอนนี้คือเตาออกซิเดชั่น ส่วนประกอบหลักภายในห้องปฏิกิริยา ได้แก่ เรือเวเฟอร์ ฐาน ท่อซับเตาเผา ท่อภายในเตา และแผ่นกั้นฉนวนกันความร้อน เนื่องจากอุณหภูมิในการทำงานสูง ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพสำหรับส่วนประกอบภายในห้องปฏิกิริยาจึงสูงเช่นกัน

ที่เรือเวเฟอร์ถูกใช้เป็นตัวพาสำหรับการขนส่งและการแปรรูปเวเฟอร์ ควรมีข้อดีเช่นการบูรณาการสูง ความน่าเชื่อถือสูง คุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอ ความต้านทานต่อการเสียรูป เสถียรภาพที่ดี และอายุการใช้งานที่ยาวนาน เนื่องจากอุณหภูมิออกซิเดชันของแผ่นเวเฟอร์อยู่ที่ประมาณระหว่าง 800°C ถึง 1300°C และข้อกำหนดสำหรับปริมาณสิ่งเจือปนของโลหะในสิ่งแวดล้อมนั้นเข้มงวดอย่างยิ่ง ส่วนประกอบหลัก เช่น เรือเวเฟอร์ต้องไม่เพียงแต่มีคุณสมบัติทางความร้อน ทางกล และทางเคมีที่ดีเยี่ยมเท่านั้น แต่ยังมีปริมาณสิ่งเจือปนของโลหะที่ต่ำมากอีกด้วย พวกเขาสามารถแบ่งออกเป็นเรือควอทซ์เวเฟอร์ เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ ฯลฯ อย่างไรก็ตาม ด้วยความก้าวหน้าของโหนดกระบวนการที่ต่ำกว่า 7 นาโนเมตร และการขยายหน้าต่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง เรือควอทซ์แบบดั้งเดิมจะค่อยๆ ไม่เพียงพอในแง่ของเสถียรภาพทางความร้อน การควบคุมอนุภาค และการจัดการอายุการใช้งาน เรือซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) กำลังค่อยๆ เข้ามาแทนที่โซลูชันควอตซ์แบบเดิม

1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในกระบวนการผลิตชิปที่อุณหภูมิสูง เช่น การออกซิเดชั่น การแพร่กระจาย การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการฝังไอออน เรือ SiC ถูกนำมาใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ซิลิคอน เพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์จะแบนราบที่อุณหภูมิสูง และป้องกันการเยื้องศูนย์หรือการเสียรูปที่เกิดจากความเครียดจากความร้อน จึงรับประกันความแม่นยำและประสิทธิภาพของชิป

2. อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม เสถียรภาพทางความร้อน ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน และทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านที่ได้รับความนิยม เช่น โลหะวิทยา เครื่องจักร พลังงานใหม่ และสารเคมีวัสดุก่อสร้าง ประสิทธิภาพยังเพียงพอสำหรับกระบวนการทางความร้อนในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เช่น การแพร่กระจาย, LPCVD (การสะสมไอสารเคมีความดันต่ำ) และ PECVD (การสะสมไอสารเคมีในพลาสมา) สำหรับเซลล์ TOPcon เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุควอตซ์แบบดั้งเดิม วัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้ทำส่วนรองรับเรือ เรือเล็ก และผลิตภัณฑ์ท่อมีความแข็งแรงสูงกว่า มีเสถียรภาพทางความร้อนดีกว่า และไม่เสียรูปภายใต้อุณหภูมิสูง อายุการใช้งานยังยาวนานกว่าควอตซ์มากกว่าห้าเท่า ซึ่งช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานและการสูญเสียพลังงานอันเนื่องมาจากการหยุดทำงานของการบำรุงรักษาได้อย่างมาก ส่งผลให้เกิดความได้เปรียบด้านต้นทุนที่ชัดเจน และมีวัตถุดิบให้เลือกมากมาย

3. อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม

ในห้องปฏิกิริยาการตกสะสมไอสารเคมีอินทรีย์และโลหะ (MOCVD) เรือซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกนำมาใช้เพื่อรองรับซับสเตรตแซฟไฟร์ ซึ่งทนทานต่อสภาพแวดล้อมของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เช่น แอมโมเนีย (NH3) รองรับการเติบโตของอีพิแทกเซียลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม เช่น แกลเลียมไนไตรด์ (GaN) และปรับปรุงประสิทธิภาพการส่องสว่างและประสิทธิภาพของชิป LED ในการเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ เรือซิลิคอนคาร์ไบด์ทำหน้าที่เป็นตัวรองรับผลึกเมล็ดในเตาเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ ทนต่อสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูงของซิลิคอนหลอมเหลว ซึ่งให้การสนับสนุนที่มั่นคงสำหรับการเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ และส่งเสริมการเตรียมผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูง

Semicorex จำหน่ายเซรามิก SiC คุณภาพสูงเรือเวเฟอร์. ผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น และความสม่ำเสมอของกระบวนการที่ยอดเยี่ยม สำหรับโซลูชันที่ปรับแต่งเองหรือข้อมูลทางเทคนิคเพิ่มเติม โปรดติดต่อทีมวิศวกรของเรา

โทรศัพท์: +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com