ความแตกต่างทางโครงสร้างระหว่างเครื่องปฏิกรณ์ประเภทต่างๆ

ตามการกำหนดค่าของห้องปฏิกิริยา อุปกรณ์รักษาความร้อน (อุปกรณ์ท่อเตา) แบ่งออกเป็นสามประเภทส่วนใหญ่: ท่อเตาแนวตั้ง ท่อเตาแนวนอน และเตาประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)

ท่อเตาหลอมแนวตั้งมีการจัดเรียงท่อควอทซ์ในแนวตั้ง โดยมีแผ่นเวเฟอร์วางอยู่รอบๆ ท่อเพื่อให้ความร้อน ข้อได้เปรียบหลักคือการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ การควบคุมบรรยากาศที่แม่นยำ ระบบอัตโนมัติระดับสูง การปนเปื้อนของอนุภาคน้อยลง ใช้พื้นที่น้อย และการรองรับการประมวลผลเป็นชุด (เหมาะอย่างยิ่งสำหรับเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว) ทำให้กลายเป็นอุปกรณ์หลักที่มีอยู่ในปัจจุบัน ขนาดตลาดทั่วโลกสูงถึง 3.2 พันล้านดอลลาร์ในปี 2567 (ข้อมูล SEMI) ข้อเสียได้แก่ การแยกก๊าซและของเหลวได้ง่าย และการไหลลงของตัวกลางอาจทำให้ท่อเตาหลอมไหม้ได้

ท่อเตาแนวนอนมีท่อควอทซ์วางในแนวนอน ประมวลผลเวเฟอร์ได้ครั้งละ 100-200 ชิ้น ข้อดีได้แก่ การไหลของก๊าซและของเหลวสม่ำเสมอภายในท่อเตาเผาและการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำยิ่งขึ้น ข้อเสียของพวกเขา ได้แก่ รอยเท้าที่ใหญ่ขึ้นและการใช้ส่วนรองรับท่อขั้นกลางที่ทำจากเหล็กกล้าอัลลอยด์สูงมากขึ้น โครงสร้างท่อเตาแนวนอนจะวางแผ่นเวเฟอร์ในแนวตั้งภายในท่อแนวนอนเพื่อการประมวลผล

เตาหลอมความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) ใช้หลอดอินฟราเรดฮาโลเจนเพื่อให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์เดี่ยวอย่างรวดเร็ว ให้อัตราการทำความร้อนและความเย็นที่รวดเร็วซึ่งเปลี่ยนเฉพาะอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์โดยไม่เปลี่ยนอุณหภูมิของห้องเพาะเลี้ยง เหมาะสำหรับการหลอมอย่างรวดเร็วในปริมาณน้อยแต่ไม่เหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมาก

ในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ ท่อเตาแนวนอนจะวางแผ่นเวเฟอร์ไว้บนเรือควอทซ์ ซึ่งจะวางอยู่บนโครงรองรับซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) จากนั้นโครงรองรับจะถูกดันเข้าไปในท่อเตาควอทซ์ ซึ่งแผ่นเวเฟอร์จะเกิดปฏิกิริยาในโซนอุณหภูมิคงที่ ในทางกลับกัน ท่อเตาหลอมแนวตั้งจะวางแผ่นเวเฟอร์ไว้บนหอคอยควอทซ์ และค่อย ๆ ยกมันเข้าไปในท่อเตาควอทซ์เพื่อนำไปแปรรูป หลังจากทำปฏิกิริยา แผ่นเวเฟอร์จะค่อยๆ ลดลงเพื่อป้องกันการงอหรือการแตกหัก

Semicorex จำหน่ายสินค้าคุณภาพสูงตามสั่งเครื่องปฏิกรณ์เตาควอทซ์. ผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น และความสม่ำเสมอของกระบวนการที่ยอดเยี่ยม สำหรับโซลูชันที่ปรับแต่งเองหรือข้อมูลทางเทคนิคเพิ่มเติม โปรดติดต่อทีมวิศวกรของเรา

โทรศัพท์: +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com