ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การแกะสลักเป็นขั้นตอนสำคัญขั้นตอนหนึ่ง ควบคู่ไปกับการพิมพ์หินด้วยแสงและการสะสมของฟิล์มบาง โดยเกี่ยวข้องกับการเอาวัสดุที่ไม่ต้องการออกจากพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์โดยใช้วิธีทางเคมีหรือกายภาพ ขั้นตอนนี้ดำเนินการหลังจากการเคลือบ การพิมพ์หินด้วยแสง และการพัฒนา ใช้เพื่อขจัดวัสดุฟิล์มบ......
อ่านเพิ่มเติม