พื้นผิว SiC เป็นส่วนประกอบที่สำคัญที่สุดในอุตสาหกรรมซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งคิดเป็นมูลค่าเกือบ 50% หากไม่มีซับสเตรต SiC ก็เป็นไปไม่ได้ที่จะผลิตอุปกรณ์ SiC ทำให้เป็นวัสดุรองพื้นที่จำเป็น
Dummy Wafer เป็นเวเฟอร์เฉพาะที่ใช้เพื่อเติมอุปกรณ์เครื่องจักรในระหว่างกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เป็นหลัก
แกลเลียมไนไตรด์ (GaN) มีหลายประเภท โดยที่ GaN ที่ใช้ซิลิคอนเป็นประเภทที่มีการกล่าวถึงมากที่สุด เทคโนโลยีนี้เกี่ยวข้องกับการปลูกวัสดุ GaN โดยตรงบนพื้นผิวซิลิกอน
เมื่อเร็วๆ นี้กระทรวงพลังงานของสหรัฐอเมริกา (DOE) ยืนยันเงินกู้ 544 ล้านดอลลาร์ให้กับ SK Siltron ผู้ผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ภายใต้ SK Group
คาร์บอนไฟเบอร์ (CF) เป็นวัสดุเส้นใยชนิดหนึ่งที่มีคาร์บอนมากกว่า 95%