แหวนเวเฟอร์ 8 นิ้ว

แหวนเวเฟอร์เวเฟอร์ Semicorex ขนาด 8 นิ้วเป็นฮาร์ดแวร์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยซึ่งมีจุดประสงค์เพื่อรักษาความปลอดภัยและสนับสนุนเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างปลอดภัยผ่านกระบวนการทางความร้อนการแกะสลักและการสะสมที่สำคัญ สร้างจากกราไฟท์คุณภาพสูงด้วยความหนาแน่นการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)เพื่อความแข็งแรงที่เพิ่มขึ้นแหวนที่ยึดเวเฟอร์ให้ความเสถียรทางความร้อนที่เหนือกว่าความต้านทานทางเคมีและความแข็งแรงเชิงกลการทำให้มันเหมาะสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนเช่น CVD (การสะสมไอสารเคมี), PECVD และระบบ epitaxy

คุณสมบัติที่สำคัญ:

องค์ประกอบวัสดุ:

วัสดุพื้นผิวคือกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งได้รับการคัดเลือกสำหรับการนำความร้อนสูงและความสม่ำเสมอของโครงสร้าง ความหนาแน่นสูงและสม่ำเสมอการเคลือบฟิล์มซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)ถูกนำไปใช้บนพื้นผิวแสดงความต้านทานสูงต่อการเกิดออกซิเดชันและการโจมตีทางเคมีแม้ที่อุณหภูมิสูงกว่า 1,000 ° C ส่วนผสมประกอบด้วยอายุการเก็บรักษาระยะยาวและความเสี่ยงน้อยที่สุดของการปนเปื้อนของเวเฟอร์

การวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่ปลอดภัย

ได้รับการออกแบบโดยเฉพาะอย่างยิ่งเพื่อเก็บเวเฟอร์ 8 นิ้ว (200 มม.) แหวนเวเฟอร์นั้นมีความคลาดเคลื่อนที่แม่นยำและรูปทรงเรขาคณิตด้านในที่ออกแบบมาอย่างเหมาะสมเพื่อจับเวเฟอร์อย่างปลอดภัย วงแหวนยังคงมีความเสถียรในตำแหน่งในระหว่างการปั่นจักรยานด้วยความร้อนและการไหลของก๊าซลดการเคลื่อนไหวไมโครที่อาจนำไปสู่การสร้างอนุภาคหรือการแตกของเวเฟอร์

ความสม่ำเสมอของความร้อน:

ค่าการนำความร้อนโดยธรรมชาติของพื้นผิวกราไฟท์และความเสถียรของการเคลือบ SIC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการถ่ายเทความร้อนที่สอดคล้องกันเหนือพื้นผิวเวเฟอร์ ส่งผลให้เกิดผลลัพธ์กระบวนการที่สอดคล้องกันลดความเครียดจากความร้อนและผลผลิตอุปกรณ์ที่ดีขึ้น

ความต้านทานสารเคมีและพลาสมา:

พื้นผิว SIC ปกป้องแกนกราไฟท์จากกระบวนการที่รุนแรงและก๊าซที่รุนแรงซึ่งมีความต้านทานต่อรอบกระบวนการซ้ำ ๆ ความเฉื่อยชาของสารเคมีนั้นเป็นประโยชน์อย่างยิ่งในสภาพแวดล้อม etchant หรือก๊าซที่มีปฏิกิริยา

มีการปรับแต่ง:

แหวนเวเฟอร์ 8 นิ้วอาจได้รับการออกแบบตามความต้องการอุปกรณ์เฉพาะหรือข้อกำหนดของกระบวนการเช่นการเปลี่ยนแปลงในการออกแบบการสนับสนุนขอบตำแหน่งของช่องและการกำหนดค่าการติดตั้ง นักออกแบบของเราทำงานร่วมกับ OEM และ Fabs เพื่อให้ประสิทธิภาพสูงสุดสำหรับการใช้งานแต่ละครั้ง

แอปพลิเคชัน:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• กระบวนการเติบโตของ epitaxial
• เตาหลอม
• การหลอมอุณหภูมิสูง
• ระบบประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ

แหวนเวเฟอร์ 8 นิ้วทุกวงจะได้รับการตรวจสอบอย่างเข้มงวดเช่นการตรวจสอบความถูกต้องของมิติการทดสอบการยึดเกาะการเคลือบและคุณสมบัติการปั่นจักรยานด้วยความร้อน เทคโนโลยีการผลิตขั้นสูงของเราช่วยให้มั่นใจได้ถึงความหนาของการเคลือบแบบสม่ำเสมอและพื้นผิวที่ดีที่สุดเพื่อเติมเต็มความต้องการที่สูงของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

แหวนเวเฟอร์ Semicorex ขนาด 8 นิ้ว (กราไฟท์ที่เคลือบด้วย SIC) เป็นอุปกรณ์สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไปให้ความแม่นยำเชิงกลความทนทานของวัสดุและความเสถียรทางเคมี ตั้งแต่การอัพเกรดอุปกรณ์กระบวนการไปจนถึงการสร้างแพลตฟอร์มเวเฟอร์รุ่นต่อไปผลิตภัณฑ์นี้นำเสนอความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพที่จำเป็นเพื่อให้สภาพแวดล้อมการผลิตที่ต้องการในปัจจุบัน