Barrel Susceptor สำหรับ Epitaxy เฟสของเหลว

Semicorex Barrel Susceptor สำหรับ Liquid Phase Epitaxy เป็นตัวเลือกสำหรับการใช้งานด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง การเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงและการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมให้คุณสมบัติการป้องกันและการกระจายความร้อนที่เหนือกว่า ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอแม้ในสภาพแวดล้อมที่ท้าทายที่สุด

Barrel Susceptor ของเราสำหรับ Liquid Phase Epitaxy ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้ได้รูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด เพื่อให้มั่นใจว่าโปรไฟล์ความร้อนมีความสม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งเจือปน ทำให้มั่นใจได้ว่าชิปเวเฟอร์จะเติบโตแบบเอพิแทกเซียลคุณภาพสูง

ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ Barrel Susceptor สำหรับ Epitaxy เฟสของเหลว

พารามิเตอร์ของ Barrel Susceptor สำหรับ Epitaxy เฟสของเหลว

คุณสมบัติของ Barrel Susceptor สำหรับ Epitaxy เฟสของเหลว

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน