กราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Suceptor

Semicorex Barrel Susceptor กราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบพิเศษที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการเอพิแทกซี โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการบรรทุกเวเฟอร์ กราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Susceptor นี้สร้างขึ้นจากวัสดุกราไฟท์ ซึ่งขึ้นชื่อในด้านการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมและความเสถียรที่อุณหภูมิสูง เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและความทนทาน พื้นผิวกราไฟท์จึงถูกเคลือบด้วยชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ของกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Susceptor ทำหน้าที่ตามวัตถุประสงค์ที่สำคัญหลายประการในบริบทนี้ ประการแรก ให้การปกป้องเพิ่มเติมอีกชั้นหนึ่งแก่ซับสเตรตกราไฟท์ที่อยู่ด้านล่าง ปกป้องจากปฏิกิริยาทางเคมีและการสึกหรอที่อาจเกิดขึ้นระหว่างกระบวนการเอพิแทกซี ประการที่สอง การเคลือบ SiC ช่วยเพิ่มคุณสมบัติทางความร้อนของกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Susceptor ช่วยให้ทำความร้อนเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอ การให้ความร้อนที่สม่ำเสมอนี้เป็นสิ่งจำเป็นเพื่อให้ได้ชั้น epitaxis ที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูงบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

การออกแบบกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Susceptor ได้รับการปรับให้เหมาะสมเพื่อยึดและขนส่งเวเฟอร์หลายตัวอย่างปลอดภัยตลอดกระบวนการเอพิแทกซี โครงสร้างคล้ายถังช่วยให้โหลดและขนเวเฟอร์ได้ง่าย ขณะเดียวกันก็รับประกันการกระจายความร้อนที่เหมาะสมและเสถียรภาพทางความร้อนระหว่างการทำงาน

โดยรวมแล้ว กราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แบบ Barrel Susceptor ถือเป็นส่วนประกอบที่สำคัญในอุปกรณ์ปิดผิว โดยให้ความน่าเชื่อถือ ความทนทาน และการควบคุมความร้อนที่แม่นยำ ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง