เครื่องทำความร้อนคอมโพสิต C/C

คอมโพสิต C/Cเครื่องทำความร้อนมักจะถูกวางตำแหน่งรอบๆ ถ้วยใส่ตัวอย่างซึ่งอยู่ตรงกลางของเตาหลอมคริสตัล โดยส่งความร้อนสม่ำเสมอให้กับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ภายในถ้วยใส่ตัวอย่างผ่านการให้ความร้อนแบบต้านทาน เมื่อเครื่องทำความร้อนแบบคอมโพสิต C/C ได้รับพลังงาน เส้นใยคาร์บอนและเมทริกซ์จะสามารถสร้างความร้อนได้เนื่องจากผลของความต้านทาน ความร้อนนี้จะถูกถ่ายโอนไปยังวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ในเบ้าหลอมโดยการนำความร้อนและการแผ่รังสี ซึ่งจะทำให้อุณหภูมิมีอุณหภูมิที่จำเป็นสำหรับการหลอมคริสตัล เพื่อให้มั่นใจว่าการกระจายอุณหภูมิมีความสม่ำเสมอและมีประสิทธิภาพมากขึ้น สามารถรวมเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต C/C หลายเครื่องเข้าด้วยกันเพื่อสร้างโครงสร้างการทำความร้อนแบบหลายชั้นสำหรับเตาเติบโตคริสตัลขนาดใหญ่

คอมโพสิต C/Cเครื่องทำความร้อนสามารถควบคุมสภาวะกระบวนการได้อย่างแม่นยำสำหรับการหลอมวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่สม่ำเสมอและการไล่ระดับอุณหภูมิที่จำเป็นสำหรับการเติบโตของคริสตัล ซึ่งช่วยลดผลกระทบจากความผันผวนของอุณหภูมิที่มีต่อคุณภาพของคริสตัลได้อย่างมาก ดังนั้นโซนร้อนจึงมีการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอและเสถียรภายในเตาคริสตัลที่มีอุณหภูมิสูง การกระจายอุณหภูมิที่ดีขึ้นนี้ช่วยในการปลูกฝังผลิตภัณฑ์ซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์คุณภาพสูงและมีข้อบกพร่องต่ำ ซึ่งช่วยปรับคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางกลของคริสตัลให้เหมาะสมอย่างมาก ภายใต้การทำงานของเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต C/C วงจรการหลอมเหลวของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์จะลดลงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งจะช่วยเร่งอัตราการเติบโตของผลึกและช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตโดยรวม

ระบบสนามความร้อนสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเซมิคอนดักเตอร์ประกอบด้วยเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต C/C พร้อมกับส่วนประกอบหลัก รวมถึงถ้วยใส่ตัวอย่าง ท่อนำการไหล ปลอกฉนวนความร้อน และเพลาของถ้วยใส่ตัวอย่าง การเลือกใช้เครื่องทำความร้อนคอมโพสิต C/C ของ Semicorex สามารถอำนวยความสะดวกในการปรับปรุงและเพิ่มประสิทธิภาพของระบบสนามความร้อน ตอบสนองความต้องการการใช้งานขนาดใหญ่สำหรับวัสดุคริสตัลประสิทธิภาพสูงในภาคส่วนต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ และออปติกได้อย่างมีประสิทธิภาพ