ฉนวนกันความร้อนคาร์บอนเซมิคอร์เป็นวัสดุฉนวนกันความร้อนที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุณหภูมิที่รุนแรงและความต้องการความสะอาดของกระบวนการเจริญเติบโตของคริสตัลเซมิคอนดักเตอร์*
ฉนวนกันความร้อนคาร์บอน Semicorex เป็นวัสดุฉนวนกันความร้อนความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อใช้ในกระบวนการเจริญเติบโตของคริสตัลของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจากคาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือเส้นใยกราไฟท์ฉนวนกันความร้อนคาร์บอนนี้ได้รับการปรับให้เหมาะสมเพื่อให้ได้การจัดการความร้อนที่เข้มงวดและความต้องการความบริสุทธิ์ของสภาพแวดล้อมเตาอุณหภูมิสูงที่ใช้ในการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวเช่นซิลิกอน (SI), ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) และสารประกอบอื่น ๆ
กระบวนการเจริญเติบโตของซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวนั้นดำเนินการอย่างสมบูรณ์ในสนามความร้อน สนามระบายความร้อนที่ดีนั้นเอื้อต่อการปรับปรุงคุณภาพของผลึกและมีประสิทธิภาพการตกผลึกที่สูงขึ้น การออกแบบสนามความร้อนส่วนใหญ่จะกำหนดการเปลี่ยนแปลงของการไล่ระดับอุณหภูมิในสนามความร้อนแบบไดนามิกและการไหลของก๊าซในห้องเตา ความแตกต่างในวัสดุที่ใช้ในสนามความร้อนจะกำหนดอายุการใช้งานของสนามความร้อนโดยตรง
ในเตาซิลิกอนคริสตัลเดี่ยว CZวัสดุคอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์บางครั้งใช้ ในปัจจุบันพวกเขาได้เริ่มใช้ในการผลิตสลักเกลียวถั่วไม้กางเขนแผ่นโหลดและส่วนประกอบอื่น ๆ ฉนวนกันความร้อนคาร์บอนเป็นวัสดุคอมโพสิตคาร์บอนเสริมคาร์บอนไฟเบอร์ที่มีความแข็งแรงเฉพาะสูงโมดูลัสเฉพาะสูงสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำการนำไฟฟ้าที่ดีความเหนียวแตกหักสูงแรงโน้มถ่วงเฉพาะต่ำความต้านทานการช็อกความร้อนความต้านทานการกัดกร่อน ในปัจจุบันเป็นวัสดุโครงสร้างที่ทนต่ออุณหภูมิสูงชนิดใหม่ได้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการบินและอวกาศการแข่งวัสดุชีวภาพและสาขาอื่น ๆ
ฉนวนคาร์บอนที่ใช้ Polyacrylonitrile มีปริมาณเถ้าขนาดใหญ่ หลังจากการรักษาที่อุณหภูมิสูงเส้นใยเดี่ยวจะเปราะ ในระหว่างการใช้งานมันง่ายที่จะสร้างฝุ่นเพื่อสร้างมลพิษต่อสภาพแวดล้อมของเตาเผา ในเวลาเดียวกันเส้นใยสามารถเข้าสู่รูขุมขนและระบบทางเดินหายใจของร่างกายมนุษย์ได้อย่างง่ายดายซึ่งเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์ ความรู้สึกของคาร์บอนที่ใช้ viscose มีประสิทธิภาพฉนวนกันความร้อนที่ดี มันค่อนข้างนุ่มหลังการรักษาความร้อนและไม่ง่ายที่จะสร้างฝุ่น อย่างไรก็ตามการตัดขวางของเส้นใยดิบที่ใช้ viscose นั้นไม่สม่ำเสมอและมีร่องมากมายบนพื้นผิวเส้นใย ในการปรากฏตัวของบรรยากาศออกซิไดซ์ในเตาซิลิกอน CZ มันเป็นเรื่องง่ายที่จะสร้างก๊าซเช่น C02 ทำให้เกิดการตกตะกอนของออกซิเจนและองค์ประกอบคาร์บอนในวัสดุซิลิกอนผลึกเดี่ยว ในปัจจุบันสิ่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดในอุตสาหกรรมผลึกเดี่ยวเซมิคอนดักเตอร์คือความรู้สึกของคาร์บอนที่ใช้แอสฟัลต์ซึ่งมีประสิทธิภาพฉนวนกันความร้อนที่แย่กว่าคาร์บอนที่ใช้ viscose แต่รู้สึกว่าคาร์บอนที่ใช้แอสฟัลต์มีความบริสุทธิ์สูงและการปล่อยฝุ่นที่ต่ำกว่า
คุณภาพการเจริญเติบโตของซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวได้รับผลกระทบโดยตรงจากสภาพแวดล้อมของสนามความร้อนและวัสดุฉนวนกันความร้อนคาร์บอนไฟเบอร์มีบทบาทสำคัญในสภาพแวดล้อมนี้ฉนวนกันความร้อนคาร์บอนไฟเบอร์อ่อนนุ่มยังคงมีข้อได้เปรียบที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เซลล์แสงอาทิตย์เนื่องจากความได้เปรียบด้านต้นทุนผลกระทบฉนวนกันความร้อนที่ยอดเยี่ยมการออกแบบที่ยืดหยุ่นและรูปร่างที่ปรับแต่งได้ นอกจากนี้ฉนวนกันความร้อนของคาร์บอนไฟเบอร์จะมีพื้นที่มากขึ้นสำหรับการพัฒนาในตลาดวัสดุสนามความร้อนเนื่องจากความแข็งแรงและการทำงานที่สูงขึ้น