ที่จับเทปคาสเซ็ท

ด้ามจับ Semicorex Cassette เป็นอุปกรณ์เสริมที่สำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้สามารถจัดการ Cassette เวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพในระหว่างขั้นตอนต่างๆ ของการประมวลผล Wafer ด้ามจับ Cassette ผลิตจากวัสดุคุณภาพสูง เช่น PFA (Perfluoroalkoxy alkane) และ PTFE (Polytetrafluoroethylene) ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อให้มั่นใจทั้งความปลอดภัยและประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมที่ต้องการความสะอาดขั้นสุด ทนทานต่อสารเคมี และมีเสถียรภาพทางความร้อน

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ตลับเวเฟอร์ถูกใช้เพื่อยึดเวเฟอร์เมื่อผ่านขั้นตอนต่างๆ รวมถึงการกัด การสะสม การทำความสะอาด และการบำบัดด้วยความร้อน ที่จับตลับทำหน้าที่เป็นอินเทอร์เฟซหลักสำหรับช่างเทคนิคและระบบอัตโนมัติเพื่อจับและขนส่งตลับเหล่านี้ระหว่างกระบวนการอย่างปลอดภัย ไม่ว่าจะเคลื่อนย้ายคาสเซ็ตด้วยตนเองหรือผ่านระบบหุ่นยนต์ ที่จับเหล่านี้ช่วยให้สามารถจุ่มลงในห้อง เตาอบ หรืออ่างเคมีได้อย่างปลอดภัย ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะไม่ได้รับความเสียหายหรือการปนเปื้อนในระหว่างการเปลี่ยนแปลงที่สำคัญ

เนื่องจากการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มักเกี่ยวข้องกับเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนและสารเคมีที่รุนแรง คุณภาพและการออกแบบของด้ามจับคาสเซ็ตต์จึงมีบทบาทสำคัญในการรักษาความสมบูรณ์ของขั้นตอนการผลิตทั้งหมด

คุณสมบัติของวัสดุ: PFA และ PTFE

การเลือกใช้วัสดุสำหรับด้ามจับแบบตลับเป็นกุญแจสำคัญต่อประสิทธิภาพการทำงานในสภาวะที่รุนแรง PFA และ PTFE เป็นทั้งฟลูออโรโพลีเมอร์ ซึ่งขึ้นชื่อในด้านความทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์

PFA (Perfluoroalkoxy alkane): วัสดุนี้ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางถึงความยืดหยุ่นและความทนทาน PFA สามารถทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 260°C (500°F) โดยไม่เสื่อมสภาพ ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในห้องแปรรูปที่มีอุณหภูมิสูง คุณสมบัติไม่เกาะติดยังป้องกันไม่ให้วัสดุเกาะติดกับพื้นผิว จึงลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนอีกด้วย นอกจากนี้ ความเฉื่อยทางเคมีของ PFA ทำให้ทนทานต่อกรดแก่ ด่าง และตัวทำละลายอินทรีย์ที่มักใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

PTFE (โพลีเตตระฟลูออโรเอทิลีน): เป็นที่รู้จักในเรื่องค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและการไม่เกิดปฏิกิริยาที่เหนือกว่า PTFE เป็นอีกหนึ่งตัวเลือกวัสดุที่ยอดเยี่ยมสำหรับด้ามจับคาสเซ็ตต์ PTFE มีความทนทานต่อการกัดกร่อนสูงและสามารถทนอุณหภูมิได้สูงถึง 260°C ความต้านทานสูงต่อการโจมตีด้วยสารเคมีทำให้มั่นใจได้ว่าเครื่องจะมีเสถียรภาพและมีประสิทธิภาพ แม้ว่าจะมีสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนหรือในระหว่างการแช่เป็นเวลานานก็ตาม พื้นผิวเรียบและคุณสมบัติแรงเสียดทานต่ำของ PTFE ยังช่วยให้การจัดการคาสเซ็ตเวเฟอร์ง่ายและปลอดภัย

วัสดุทั้งสองมีระดับความสะอาดที่เหนือกว่า ซึ่งจำเป็นในการป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคในสภาพแวดล้อมห้องสะอาดของเซมิคอนดักเตอร์

ด้ามจับ Semicorex Cassette แม้จะเป็นเพียงส่วนประกอบเล็กๆ ของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แต่ก็มีบทบาทสำคัญในการรับประกันการจัดการตลับเวเฟอร์ที่ปลอดภัย มีประสิทธิภาพ และปราศจากการปนเปื้อน ด้ามจับเหล่านี้ผลิตจากวัสดุประสิทธิภาพสูง เช่น PFA และ PTFE ทนทานต่อสารเคมี มีเสถียรภาพทางความร้อน และทนทานเป็นพิเศษ ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถปรับขั้นตอนการทำงานให้เหมาะสม ลดความเสี่ยงในการปนเปื้อน และมั่นใจในความปลอดภัยของผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ด้วยการเลือกที่จับคาสเซ็ตต์คุณภาพสูง