แหวนโฟกัสเซรามิกสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

เซมิคอร์เร็กซ์ เซรามิควงแหวนโฟกัสs สำหรับเซมิคอนดักเตอร์เป็นโซลูชั่นในอุดมคติที่ปรับแต่งมาสำหรับสภาวะการทำงานในการกัดพลาสมาที่รุนแรง ในระหว่างกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อน การควบคุมการกระจายตัวของพลาสมาอย่างแม่นยำเป็นสิ่งสำคัญ ซึ่งสามารถรับประกันความเสถียรของห้องกัดและความสม่ำเสมอของการกัดเซมิคอนดักเตอร์ที่สม่ำเสมอ เนื่องจากส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ที่ใช้ในอุปกรณ์แกะสลักขั้นสูง โดยทั่วไปแล้ว วงแหวนโฟกัสจะถูกวางตำแหน่งไว้รอบๆ เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และจะสัมผัสโดยตรงกับพวกมัน ประสิทธิภาพของวงแหวนโฟกัสส่งผลกระทบโดยตรงต่อความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ ผลผลิตของผลิตภัณฑ์ และเวลาทำงานของอุปกรณ์

ข้อดีของวงแหวนโฟกัสเซรามิก Semicorex สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

1. ความบริสุทธิ์ของวัสดุสูงเป็นพิเศษ

ความบริสุทธิ์ของเราซีวีดี SiCวัสดุเกิน 99.9995% วิธีนี้สามารถป้องกันการปนเปื้อนของช่องแกะสลักและเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพซึ่งเกิดจากความบริสุทธิ์ของวัสดุไม่เพียงพอ

2. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

วงแหวนโฟกัสเซรามิก Semicorex สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ทำจาก CVD SiC ซึ่งมีความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน การกัดเซาะ และการกัดกร่อนของสารเคมีได้ดีเยี่ยม โดยมีประสิทธิภาพเป็นพิเศษกับก๊าซในกระบวนการ เช่น HF และ HCI รวมถึงก๊าซพลาสมา

3.ประสิทธิภาพความต้านทานที่เหนือกว่า

ความสม่ำเสมอของความต้านทานของวงแหวนโฟกัสเซรามิก Semicorex สำหรับเซมิคอนดักเตอร์น้อยกว่า 5%

ช่วงความต้านทาน: ความละเอียดต่ำ (<0.02 Ω·cm) ความละเอียดกลาง (0.2–25 Ω·cm) ความละเอียดสูง (>100 Ω·ซม.)

ฟังก์ชั่นของวงแหวนโฟกัสเซรามิก Semicorex สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

1. ควบคุมและทำให้สนามไฟฟ้าขอบและการกระจายพลาสมาสม่ำเสมอ

วงแหวนโฟกัสเซรามิก Semicorex สำหรับเซมิคอนดักเตอร์สามารถควบคุมการกระจายของสนามไฟฟ้าภายในห้องแกะสลัก และได้เปลือกพลาสม่าที่สม่ำเสมอมากขึ้นรอบ ๆ เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้พลาสมากระทบบนพื้นผิวเวเฟอร์ในแนวตั้งและสม่ำเสมอ ด้วยวิธีนี้ เอฟเฟกต์ขอบการแกะสลักจะลดลงอย่างมาก และปรับปรุงความแม่นยำในการแกะสลักได้อย่างมาก

2.ป้องกันหัวจับไฟฟ้าสถิต

หากไม่มีการป้องกันวงแหวนโฟกัสในกระบวนการกัด หัวจับไฟฟ้าสถิตจะสัมผัสกับการทิ้งระเบิดและการกัดเซาะของพลาสมาพลังงานสูง หัวจับไฟฟ้าสถิตทำจากวัสดุราคาสูงและมีค่าใช้จ่ายในการเปลี่ยนที่สูงมาก การใช้วงแหวนโฟกัสสามารถลดการกัดกร่อนของพลาสมาบนหัวจับไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ และลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาและการเปลี่ยนหัวจับไฟฟ้าสถิตให้เหลือน้อยที่สุด