sic สูญญากาศ chucks

เซมิคอร์สซิลิกอนคาร์ไบด์Sic Vacuum Chucks เป็นเครื่องมือเซรามิกไฮเทคที่ออกแบบมาเพื่อรักษาเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างปลอดภัยและเชื่อถือได้ในระหว่างกระบวนการกำจัดวัสดุที่แม่นยำ พวกเขาได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดสูงอุณหภูมิสูงและมีสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง Sic Vacuum Chucks ช่วยส่งการดูดซับและการจัดแนวของเวเฟอร์ที่เหนือกว่า Semicorex Sic Sic Vacuum Chucks ผลิตจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อให้ความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมการนำความร้อนและความทนทานทางเคมี

งานหลักของชัคสูญญากาศคือการดึงการดูดที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวเวเฟอร์เพื่อให้เวเฟอร์มีความเสถียรในระหว่างกระบวนการเช่นการตรวจสอบการสะสมการกัดและการพิมพ์หิน สุญญากาศทั่วไปมีปัญหาเกี่ยวกับการสร้างอนุภาคการแปรปรวนหรือการเสื่อมสภาพทางเคมีเมื่อเวลาผ่านไป สำหรับเงื่อนไขการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง SIC สุญญากาศ Chucks จะให้ความทนทานและความเสถียรในระยะยาวที่เหนือกว่า

วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์มีมูลค่าสูงสำหรับความแข็งความเสถียรทางความร้อนและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ วัสดุเหล่านี้จะยังคงมีความเสถียรในมิติในช่วงอุณหภูมิที่หลากหลายช่วยให้ความเสถียรทางความร้อนและความแม่นยำของกระบวนการที่ดีขึ้นโดยไม่ต้องใช้ความร้อนที่ไม่ตรงกันกับเวเฟอร์ ค่าการนำความร้อนสูงของพวกเขายังช่วยให้การกระจายความร้อนอย่างรวดเร็วซึ่งมีประโยชน์ในสภาพทางลาดเริ่มต้นความร้อนอย่างรวดเร็วหรือสำหรับการสัมผัสสั้น ๆ ไปยังพลาสม่าพลังงานสูง

เซรามิก SIC ไม่เพียง แต่มีประโยชน์ทางความร้อนและเชิงกล แต่ยังสามารถทนต่อการกัดกร่อนในพลาสมาและก๊าซกระบวนการก้าวร้าว คุณลักษณะนี้ทำให้ SIC สุญญากาศ chucks เป็นที่นิยมโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการแกะสลักแห้งกระบวนการ CVD และ PVD ที่วัสดุควอตซ์หรืออลูมิเนียมไนไตรด์สามารถลดลงเมื่อใช้งาน ความเฉื่อยทางเคมีของ SIC จะช่วยในการ จำกัด การปนเปื้อนและปรับปรุงเวลาการทำงานของเครื่องมือ

เพื่อให้ประสิทธิภาพที่เหนือกว่า Semicorex ทำให้ SIC สุญญากาศ chucks และระบุความคลาดเคลื่อนที่แน่นมากด้วยพื้นผิวที่มีลักษณะเป็นพิเศษพร้อมโครงสร้างช่องสัญญาณในการอัพเดทไมครอน ด้วยคุณสมบัติเหล่านี้มันให้การสนับสนุนเวเฟอร์ด้วยการดูดที่แม่นยำและพื้นที่ดูดอย่างต่อเนื่องสำหรับการสนับสนุนเวเฟอร์ลดโอกาสในการแปรปรวนหรือการแตกของเวเฟอร์เอง นอกจากนี้ยังมีบริการออกแบบที่กำหนดเองเพื่อให้เหมาะกับขนาดเวเฟอร์ที่หลากหลาย (2 "ถึง 12") ในแอปพลิเคชันที่แตกต่างกัน

ในฐานะที่เป็นผลตอบแทนที่สูงขึ้นการควบคุมกระบวนการและความน่าเชื่อถือเป็นปัจจัยที่ SIC สุญญากาศ chucks เป็นองค์ประกอบสำคัญใหม่ของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไป การประยุกต์ใช้ sic สูญญากาศ sic เชื่อมโยงโดยตรงกับการเพิ่มขึ้นความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์และการควบคุมการประมวลผล